http://pure-quartz-ir-heater.com/de/tags/nitride/ Recent content in Nitride on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo de Thu, 18 Jun 2026 01:09:37 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/de/posts/gallium-nitride-gan-mocvd-heater/ Thu, 18 Jun 2026 01:09:37 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/de/posts/gallium-nitride-gan-mocvd-heater/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Galliumnitrid (GaN) MOCVD Heizer"></p> <p>Auf der Wafer-Oberfläche führt eine Temperaturabweichung von einigen Grad während des GaN-Epitaxy-Prozesses nicht nur dazu, dass die Ertragsrate sinkt – sie macht die Herstellung der Wafer sogar unmöglich. Man verliert die Kontrolle über die Dicke der Schicht sowie über die Konstanz der Leitfähigkeit des Materials. Die Bauelemente, für die die Kunden bezahlen, funktionieren in solchen Fällen einfach nicht.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong> Wir verwenden einen GaN-MOCVD-Infrarotheizer, der durch die Kombination einer präzise gesteuerten Kurzwellen-Infrarotquelle mit einem aus Quarz bestehenden Wärmeabstrahlungsmodul eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Waferoberfläche gewährleistet. Dadurch bleibt die Temperatur innerhalb von ±0,1 °C konstant. Das ist kein Laborwert – es handelt sich um denselben Temperaturverlauf bei jeder Herstellungsrunde und in jeder Reinräumenumgebung.</p>