Evatec Verdampfer Heizlampe

Thu, 04 Jun 2026 00:57:21 +0800

On the fab floor reicht eine Drift von 0,5 °C beim Photoresist-Backen aus, um eine große Menge Ausschuss zu verursachen. Sie betreiben Evatec Verdampfer, und das thermische Budget ist fest vorgegeben. Die Heizungslampe ist der Punkt, an dem die Prozessvorgabe tatsächlich auf den Wafer trifft. Wenn sie auch nur geringfügig abweicht, leidet die Lithographie-Overlay-Genauigkeit, und die Kantenbereichsausblendung beginnt zu variieren.

Was tatsächlich zählt
Die Heizungslampen der Evatec Verdampfer sind auf die Dünnschichtabscheidung und die thermischen Profile des Resists ausgelegt, die Sie benötigen. Der Halogen- oder NIR-Strahler liefert saubere, strahlende Wärme mit enger spektraler Kontrolle, wodurch eine thermische Reaktionszeit im Sub-Sekunden-Bereich und eine stabile stationäre Temperatur gewährleistet sind. Über den Wafer wird eine thermische Gleichmäßigkeit von ±0,1 °C gehalten, was sich direkt in reproduzierbaren kritischen Dimensionen und Resistprofilen niederschlägt. Die Quarzhülle und die konstruierten Halterungen sind für Reinräume der Klassen 1–100 zertifiziert – keine Partikelbildung und geringe Ausgasung. Sie können sich auf eine 24/7-Betriebssicherheit, lange Lampenlebensdauer und stabile Leistung verlassen; es gibt Geräte, die über 5.000 Stunden mit weniger als 5 % Leistungsverlust laufen.

Evatec on Pure Quartz Infrared Heaters

Evatec Verdampfer Heizlampe