http://pure-quartz-ir-heater.com/cs/tags/sonda/ Recent content in Sonda on Pure Quartz Infrared Heaters Hugo cs Fri, 26 Jun 2026 01:31:43 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/cs/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 26 Jun 2026 01:31:43 +0800 http://pure-quartz-ir-heater.com/cs/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://pure-quartz-ir-heater.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Elipsometrický ohřívač sondy waferu"></p> <p>V prostředí litografie stačí půlobvodová odchylka během měkkého zahřívání k tomu, aby se kontrolovaný profil fotorezisty změnil v odchylku v tloušťce. Ohřívač sondy na bázi elipsometrie byl navržen tak, aby tuto odchylku zabránil ještě předtím, než vznikne. Byl navržen s ohledem na termální podmínky během sušení destiček, předzahřívání fotorezisty a zahřívání po expozici – kde právě rovnoměrnost teploty určuje geometrii zařízení.</p> <p><strong>Co je důležité uvnitř zařízení</strong><br> Je zde krátkovlnný infračervený emitér spolu s termickou cestou stabilizovanou kvarcem, která zajišťuje rovnoměrnost teploty na úrovni destičky v rozsahu ±0,1 °C po celé ploše sondy. Změny nastavení se projeví okamžitě, s odezvou do několika milisekund a bez nadměrných odchylek. Zařízení je kompatibilní s prostředím čistých místností až do třídy 1 – používají se materiály a povrchové úpravy, které zabraňují vzniku částic. Výstupní hodnota zůstává stabilní v rozsahu 1 % po dobu více než 5 000 hodin, takže může fungovat 24/7 s intervaly údržby, které lze plánovat.</p>