RTP系统的替换灯泡

在光刻生产线上，RTP温度的波动不仅会体现在图表上，还会表现为光阻烘烤过程中的偏差以及图案对位错误。当灯管性能下降时，温度均匀性就会遭到破坏，进而导致工艺窗口迅速缩小。我们设计的这些替代灯管，能够确保在连续多轮生产过程中，温度始终处于理想范围内，从而避免出现各种问题。 核心要点 我们为卤素灯管设计...