真空室红外加热器

停止浪费时间等待晶圆加热吧！ 如果你们仍然依赖热空气循环来处理半导体，那其实就是在为“时间成本”买单。 试想一下，强制空气对流的方式：首先需要将整个腔室加热，然后再加热气体，最后还要等待热量渗透到晶圆上。这个过程既缓慢又繁琐。 而真空红外线加热则省去了中间环节——无需等待空气流动，红外线可以直接将...