红外线与热风：如何正确控制手套箱内的温度
如果你们从事半导体的深度加工工作，那么肯定知道在手套箱内实现精准控温的难度有多大。多年来，人们通常采用热风循环的方式来加热工件，也就是让热空气流过工件表面，希望以此达到所需的温度。
这种方法确实有效，但效率实在很低。因为必须等待整个手套箱内的空气都变暖之后，工件才能达到所需的温度。这无疑浪费了大量时间。
更快捷的方法：辐射传热
红外线元件可以省去中间环节。它不需要先加热空气，而是直接将电磁辐射照射到工件上。
想象一下，在寒冷的冬天站在阳光下——虽然周围的空气很冷，但皮肤却感觉很热，因为光线直接照射在皮肤上。同样的原理也适用于这里：能量直接作用于工件表面，立即转化为热量。
在手套箱中，这种方式的优势显而易见。加热时间从几分钟缩短到几秒钟，不再需要等待风扇吹送热空气。如果你需要高效处理大量工件，这无疑是最佳选择。
当然，也有缺点
不过，使用红外线元件并非万能。它会在短时间内产生大量热量。如果使用功率过高的卤素灯或石英灯，可能会导致晶圆或基材出现局部过热现象。因此，必须精确控制灯光与工件之间的距离。否则，就会出现问题。
此外，红外线元件虽然体积小，但需要可靠的控制器来确保其不会过度加热。如果PID调节不当，要么会损坏工件，要么会烧毁元件本身。
为何值得采用这种技术
近年来，越来越多的工厂选择放弃传统风扇，转而使用红外线技术。为什么呢？因为流动的空气容易带来污染问题。一旦停止了空气流动，那些微小的颗粒物就不会再接触到敏感的组件，从而保持环境清洁。此外，加热速度也更快。只需简单更换加热装置，就能大幅减少生产时间，从而节省成本。