Hãy ngừng chờ đợi nữa: Tại sao công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại lại là giải pháp tốt nhất?
Nhiều dây chuyền sản xuất bán dẫn vẫn còn sử dụng phương pháp sưởi ấm bằng không khí nóng. Điều này khá phổ biến, đặc biệt trong các thiết bị cũ. Nhưng thực ra, đó là một phương pháp kém hiệu quả.
Khi sử dụng phương pháp sưởi ấm bằng không khí nóng, bạn đang chống lại quy luật vật lý. Bạn phải làm nóng từng phần tử không khí trong buồng trước khi vật liệu được xử lý có thể cảm nhận được nhiệt độ. Quá trình này rất chậm và phiền phức. Trong môi trường sản xuất, việc chờ đợi như vậy chẳng khác nào lãng phí tiền bạc.
Loại bỏ yếu tố trung gian
Phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại hoạt động theo cách khác. Thay vì làm nóng không khí, phương pháp này truyền năng lượng trực tiếp đến vật liệu thông qua bức xạ điện từ. Không cần chờ đợi, cũng không cần làm nóng toàn bộ căn phòng.
Chúng tôi sử dụng thép không gỉ để chế tạo vỏ máy, nhằm tập trung năng lượng một cách hiệu quả. Nhờ vào các bộ phản xạ được chế tạo một cách chính xác, chúng ta có thể chiếu các tia hồng ngoại trực tiếp vào vật liệu cần xử lý.
Kết quả là quá trình sưởi ấm diễn ra rất nhanh. Chúng ta có thể giảm thời gian sưởi ấm từ 40% đến 70% so với các lò sưởi cũ. Điều này giúp tăng số lượng wafer có thể được xử lý mỗi giờ.
Về mặt kỹ thuật
Chúng tôi không chỉ đơn giản đặt các thiết bị này vào một chiếc hộp bất kỳ. Chúng tôi sử dụng thép không gỉ cao cấp vì loại vật liệu này không bị biến dạng hay oxy hóa khi bị nóng.
Hãy coi vỏ máy như một lớp bảo vệ nhiệt. Nó giúp giữ nhiệt ở đúng vị trí cần thiết, đồng thời ngăn chặn sự lan tỏa của nhiệt lượng sang các thiết bị điện tử xung quanh.
Ngoài ra, bạn còn tiết kiệm được diện tích sàn. Các hệ thống sưởi ấm bằng tia hồng ngoại có thiết kế gọn gàng hơn nhiều so với các hệ thống sưởi ấm bằng không khí nóng.
Nhưng có một điểm cần lưu ý: tia hồng ngoại có tính hướng định. Nếu vật liệu có hình dạng kỳ lạ hoặc có những khoang rỗng sâu, thì có thể xuất hiện những vùng “lạnh” mà ánh sáng không thể chiếu tới được. Đó là lý do tại sao chúng tôi dành nhiều thời gian để xác định vị trí đặt đèn sao cho nhiệt lượng có thể chiếu đều đến mọi góc của vật liệu.
Chuyển sang sử dụng công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại
Việc chuyển sang sử dụng công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại thường khá đơn giản. Bạn chỉ cần tháo bỏ các bộ phận sưởi ấm bằng không khí nóng, lắp đặt các bộ điều khiển, và lắp đặt vỏ máy vào vị trí thích hợp.
Sau khi chuyển sang phương pháp này, bạn sẽ không cần lo lắng về dòng khí hay lưu lượng khí nữa. Thay vào đó, bạn chỉ cần quan tâm đến mật độ công suất và bước sóng của tia hồng ngoại.
Điều này rất quan trọng. Nếu bước sóng không phù hợp với vật liệu, thì nhiệt lượng sẽ bị phản xạ trở lại. Nếu mọi thứ được điều chỉnh đúng cách, thì quy trình sưởi ấm sẽ diễn ra một cách trơn tru.