فیبرک فلور پر، ویفر کو خشک کرنے یا فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران درجہ حرارت میں تغیرات، SPC چارٹ پر صرف ایک چھوٹی سی خرابی نہیں ہے؛ بلکہ یہ تو پیداوار میں کمی کا سبب بنتا ہے۔ ہم نے اپنا اعلی درجہ حرارت والا تھرمل ٹیپ حل، شارٹ-ویو انفراریڈ (NIR) حرارت کے استعمال سے تیار کیا ہے، کیونکہ یہ بغیر کسی رابطے کے، سبسٹریٹ میں مستحکم اور تیز رفتار حرارت فراہم کرتا ہے۔
اس سسٹم کی خصوصیات:
NIR توانائی، ویفر اور ٹیپ کی تہوں کے درمیان تیزی سے پہنچتی ہے، لہذا درجہ حرارت جلد ہی مطلوبہ سطح پر پہنچ جاتا ہے۔ ویفر کے پورے رقبے پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، جس سے ایکسپوژر کے بعد بھی اہم ابعاد میں کوئی تغیر نہیں آتا۔ یہ سسٹم، نرم اور سخت دونوں قسم کے بیکنگ عملوں کو بھی بہتر طریقے سے سنبھالتا ہے، جس سے فوٹوریزسٹ کی کارکردگی میں بہتری آتی ہے۔
کلاس 1–100 کے کلین روموں کے لئے مناسب:
یہ سسٹم، کم ذرات والے مواد اور ایسی ڈیزائننگ کے ساتھ بنایا گیا ہے جس سے گیسوں کا اخراج کم ہوتا ہے۔ ہیٹرز روزانہ اعلی درجہ حرارت پر کام کرتے ہیں، اور ان کی کارکردگی ہزاروں بار بھی برقرار رہتی ہے۔
یہ سسٹم کیوں مناسب ہے؟
صاف کرنے کے عمل کے بعد ویفر کو خشک کرنا، اور اسپن-کوٹنگ کے بعد اسے گرم کرنا ضروری ہے، تاکہ ہر بار یکساں نتائج حاصل ہوں۔ NIR توانائی، ضرورت کے وقت ہی حرارت فراہم کرتی ہے، جس سے ویفر کو خشک کرنے کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، بغیر یکسانیت کو متأثر کیے۔ اس سے ابعاد پر بہتر کنٹرول حاصل ہوتا ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور پیداواری رفتار بھی بہتر ہو جاتی ہے۔
کن چیزوں پر توجہ دینی چاہیے؟
NIR توانائی، سیدھے راستے سے ہی پہنچتی ہے، لہذا درمیان میں کوئی خلا نہیں ہونا چاہیے۔ ٹیپ کی موٹائی اور ویفر پر اس کی چپکنے کی صلاحیت یکساں ہونی چاہیے؛ ورنہ کچھ جگہوں پر زیادہ حرارت پیدا ہو سکتی ہے۔ مناسب ہوا کے بہاؤ اور شیلڈنگ کے ذریعے، غیرضروری روشنیوں کو روکنا ضروری ہے۔
مشورہ:
ٹیپ کے انتخاب اور اسے مناسب طریقے سے لگانے کے لئے ہم تفصیلی ہدایات فراہم کرتے ہیں۔ مکمل منتقلی سے پہلے، اس علاقے کے درجہ حرارت کی پیمائش ضرور کریں۔