Чому ми переходимо на використання інфрачервоного випромінювання для обробки чіпів без свинцю
Спроби створити „зелені“ та безсвинцеві процеси виробництва напівпровідників – це не просто тренд; це напрямок розвитку галузі. Довгий час ми користувалися конвективними печами. Але, чесно кажучи, нагрівання великої кількості повітря лише для сушіння пластини є марною тратою ресурсів. Цей процес є повільним, споживає багато енергії, а крім того, частинки пилу розносяться по всій кімнаті.
Ось чому ми перейшли на використання інфрачервоного випромінювання. Замість нагріву всієї кімнати, інфрачервоне випромінювання передає енергію безпосередньо на поверхню пластини. Немає жодних посередників, немає нагрітого повітря – лише пряме випромінювання.
Як саме це працює
Уявіть собі таке: лампи інфрачервоного випромінювання налаштовані так, щоб „спілкуватися“ з фотополімером чи засобом для сушіння. Коли світло потрапляє на поверхню, воно миттєво поглинається. Не потрібно чекати, поки кімната нагріється. Достатньо лише увімкнути лампу – і вже є тепло. Це велика перевага, адже це дозволяє нам позбутися старих, важких стабілізаторів, які були необхідні для функціонування конвективних печей при високих температурах.
Ми використовуємо короткохвильове інфрачервоне випромінювання. Воно проникає глибше в поверхню та ефективніше сушить її. Це означає, що кремнієва основа не потребує тривалого нагрівання. Таким чином, енергоспоживання залишається на низькому рівні, а пластини залишаються у стані, придатному для подальшої обробки.
Переваги та недоліки
Звісно, все не ідеально. Коли така велика кількість енергії спрямовується в одну точку, сенсори повинні бути дуже чутливими. Якщо сенсори не налаштовані на точну довжину хвилі лампи, може виникнути перегрів країв пластини. Секрет полягає у збалансуванні потужності лампи та коректній роботі системи контролю температури.
Чищі заводи
Найкраще те, що системи інфрачервоного випромінювання роблять заводи чистішими. Не є жодних залишків палива чи хімічних речовин у повітрі. Для інженерів це справжній сон. Машини стають меншими, а також можна позбутися багатьох об’ємних елементів системи опалення. Це допомагає досягти цілей щодо зменшення викидів вуглецю, не уповільнюючи при цьому процес виробництва.