
Під час процесу виробництва термальний бюджет є обов’язковим фактором. Кілька градусів зміни температури під час сушіння пластини, нагрівання фотополімеру чи висихання корпусу можуть призвести до зміни критичних розмірів, залишення залишків матеріалу чи ослаблення з’єднань. Ми створили керамічний емітер для усунення цих проблем – він стабілізує температуру саме там, де це важливо, а саме в місці впливу світла.
Найважливішим показником є повторюваність результатів. Керамічний емітер забезпечує стабільну підтримку діелектрика та можливість точного розташування елементів, що дозволяє зберігати стабільну температуру в зоні впливу. Емітер швидко та ефективно реагує на зміни температури, забезпечуючи однорідність температури в усій цільовій зоні. Це дозволяє контролювати процес нагрівання фотополімеру та ефективно усувати розчинники під час сушіння пластини.
Під час процесу висихання корпусу така ж стабільність дозволяє контролювати процес зв’язування компонентів без появи дефектів. Очікується можливість точного контролю параметрів, мінімальне утворення частинок та сумісність з умовами чистих приміщень класу 1–100.
Цей пристрій ефективний через те, що він відповідає ритму роботи з напівпровідниками. У літографічних установках емітер забезпечує точний контроль температури нагрівання фотополімеру, що дозволяє контролювати його якість та критичні розміри. Під час очищення та сушіння емітер забезпечує швидке та однорідне нагрівання, що запобігає появі дефектів.
Для процесу упаковування емітер забезпечує стабільну температуру необхідну для затвердіння клеїв та інших матеріалів, що зменшує кількість відходів та необхідність повторної обробки. Це призводить до меншої кількості відхилень параметрів, стабільних часів виконання процесів та передбачуваної продуктивності.
Одна важлива порада: керамічні емітери є чутливими до механічних ударів, тож їх розташування щодо підкладки має бути ідеальним.Необхідно спроєктувати пристрій так, щоб його можна було точно розташувати, а також дати йому час на стабілізацію температури перед початком процесу. Також необхідно підібрати емітер під свою напругу та частоту роботи – інакше стабільність вихідної потужності не буде забезпечена протягом 5,000+ годин.