Fabrikanızdaki Isıyı Kontrol Altına Almak
Eğer yarı iletken fabrikasında çalışıyorsanız, tek bir kirlilik parçacığının tüm wafer’ın bozulmasına neden olabileceğini biliyorsunuzdur. İşte bu durumda Ultra Yüksek Saflıkta (UHP) ısıtıcı lambalar devreye giriyor. Ama dürüst olalım: Eski “ayarlayıp unutma” yöntemi artık işe yaramıyor. Isıtma sistemlerinizin PLC ile iletişim kurarak anlık ayarlamalar yapabilmesi gerekiyor.
UHP Kızılötesinin Gücü
Kısa dalga boylu kızılötesi vericiler kullanıyoruz; çünkü bunlar inanılmaz derecede hızlıdır. Wafer’in etrafındaki havayı ısıtmak için zaman kaybetmek yerine, enerji doğrudan substrata aktarılır. Gerilimi ve çalışma periyodunu ayarlayarak hedef sıcaklığa saniyeler içinde ulaşılabilir. Bu oldukça hızlıdır. Ve bu önemlidir; çünkü böylece termal yük düşük kalır ve katkı maddeleri istenmeyen yerlere yayılmaz.
“Akıllı” Sistemler
Modern fabrikalar veriler üzerine kuruludur. Bu lambaları kapalı döngülü geri bildirim sistemleriyle bağlayarak tahminlerle hareket etmekten kaçınıyoruz. Pirometreler gerçek zamanlı sıcaklık değerlerini kontrol cihazına gönderir ve bu da gücün artırılmasını veya azaltılmasını sağlar. Böylece eski tip dirençli ısıtıcıların yol açtığı sorunlar ortadan kalkar. Ayrıca her bir ısıtma döngüsünün dijital kaydı da elde edilir. Bu da bakım işlemleri için çok önemlidir. Lambanın bozulduğunu görebilir ve üretimi durdurmadan önce onu değiştirebilirsiniz.
Zorlu Yönler
İşte burada bir sorun var: Yüksek yoğunluklu kızılötesi sistemler çok fazla enerji tüketir. 300 mm’lik waferler işlenirken lamba gövdesi ciddi şekilde ısınır. Soğutma sistemlerinin tam olarak doğru şekilde ayarlanması gerekir. Hava akışı biraz bile azalırsa, lamba gövdesi aşırı ısınır ve filamentler beklenenden daha erken patlar. Bir diğer konu ise kabloların kullanımıdır. Dijital sistemlere geçildiğinde EMI koruması çok önemlidir. Güç kaynaklarındaki yüksek frekanslı değişimler sensörleri bozan elektronik “gürültüler” oluşturabilir. Sinyallerin temiz kalması için korumalı kablolar ve sağlam topraklama sistemi kullanılmalıdır. Aksi takdirde verilerinizde yanıltıcı bilgiler oluşur.