Ekran sürücüsü IC’lerinde, termal değişimlere tolerans yoktur. Hatta 0,5°C’lik bir sapma bile fotoresist kalınlığında değişikliklere neden olur ve bu da üretimin kalitesini düşürür. Kurutma işlemi sırasında tamamen uzaklaştırılmayan nemler, mikro-bridging oluşmasına yol açar. Bunun sonuçlarını ise haftalar sonra ürün veriminin düşmesiyle anlarsınız. Biz de tam olarak bu tür sorunları çözmek için kızılötesi ısıtıcılar geliştirdik; sıkı termal kontrol, herhangi bir sapmaya izin vermeyen yapı ve tekrarlanabilirlik ön plandadır.
Teknik açıdan önemli olanlar
Hızlı tepki veren kuvars emisyon cihazları kullanarak kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar kullanıyoruz. 200 mm ve 300 mm boyutundaki waflerde, ±0,1°C içinde tutarlılık sağlanabiliyor. Isıtma işlemlerindeki tekrarlanabilirlik ise ±0,2°C civarındadır. Böylece yumuşak/sert ısıtma işlemleri ve fotoresistin kurutulması belirlenen değerler doğrultusunda gerçekleşir.
Bu sistemler, partikül üretimi olmayan, 1–100 sınıfı temiz odalarda kullanılır. Enerji tüketimi reçeteye göre ayarlanır ve termal rampalar 10 ms içinde tekrarlanır. Bu sayede ince film tabakaları termal stresten korunur.
Neden ekran sürücüsü IC üretiminde kullanılır?
Bu tür ürünler oldukça hassastır: düşük dielektrik özellikli malzemeler, ince metaller, küçük aralıklar… Termal kontrol çok önemlidir. Kızılötesi ısıtma sayesinde fotoresistin performansı sabit kalır. Yeniden işleme ihtiyacı azalır ve uzun süreli ısınma süreleri ortadan kalkar.
Waferlerin kurutulması sürecinde tutarlı bir su uzaklaştırma işlemi gerçekleşir; bu da kusur yoğunluğunu azaltır ve litografi işleminin daha stabil olmasını sağlar. Sonuç olarak kritik boyutların daha iyi kontrol edilmesi, daha az odaklanma sorunu ve tahmin edilebilir bir üretim süreci elde edilir.
Kullanmadan önce bilinmesi gerekenler
Isıtıcı mevcut sistemlere kolayca entegre edilebilir, ancak hizalanma oldukça önemlidir. Emitter ile wafer arasındaki mesafe ±0,5 mm içinde olmalıdır ki tutarlılık sağlansın.
Reçete aktarımı sırasında taşıyıcıların termal kütleleri ile waferlerin arka yüzeyinin emisiviteleri eşleştirilmelidir. Rampa hızları ve bekleme sürelerini belirlemek için kısa bir test yapılmalıdır. Bir kez ayarlandıktan sonra bu sistem 24/7 çalışır ve minimum bakım gerektirir. Lambalar ise 5.000 saatten fazla süre boyunca stabil bir şekilde çalışabilir.