บนพื้นโรงงาน การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 0.5°C ในการอบ photoresist ก็เพียงพอที่จะทำให้เกิดของเสียจำนวนมาก คุณกำลังใช้งาน Evatec evaporators และงบประมาณความร้อนถูกตั้งไว้อย่างแน่นอน หลอดไฟฮีตติ้งคือจุดที่ความตั้งใจของกระบวนการสัมผัสกับแผ่นเวเฟอร์จริง หากแม้เพียงเล็กน้อยผิดพลาด การวางซ้อนลิโธกราฟีจะเสียหาย และการตัดขอบเริ่มรุกล้ำเข้ามา
สิ่งที่สำคัญจริงๆ
หลอดไฟฮีตติ้งของ Evatec evaporator ถูกออกแบบตามโปรไฟล์การตกตะกอนฟิล์มบางและความร้อนของเรซิสต์ที่คุณต้องการ ตัวปล่อยแสงฮาโลเจนหรือ NIR ให้ความร้อนแบบรังสีสะอาดพร้อมการควบคุมสเปกตรัมที่เข้มงวด จึงได้การตอบสนองความร้อนในระดับต่ำกว่าหนึ่งวินาที และอุณหภูมิที่คงที่ในสถานะสมดุลทั่วแผ่นเวเฟอร์ คุณจะรักษาความสม่ำเสมอของความร้อนภายใน ±0.1°C ค่าดังกล่าวสะท้อนตรงไปยังการทำซ้ำของมิติที่สำคัญและโปรไฟล์เรซิสต์ ซองควอตซ์และอุปกรณ์ที่ออกแบบมาได้รับการจัดอันดับสำหรับห้องสะอาด Class 1–100 ซึ่งไม่ก่อให้เกิดฝุ่นละอองและมีการระเหยต่ำ คุณสามารถวางใจในความน่าเชื่อถือ 24/7 อายุหลอดไฟยาวนาน และการจ่ายไฟที่เสถียร โดยมีหน่วยงานที่ทำงานเกิน 5,000 ชั่วโมงโดยมีการลดทอนน้อยกว่า 5%
เหตุผลที่เหมาะสมกับกระบวนการ
ในกระบวนการ Evatec evaporation หลอดไฟทำหน้าที่เป็นตัวควบคุมอุณหภูมิของวัสดุรองรับระหว่างการอบแบบ soft bake และ hard bake เมื่อได้ความแม่นยำนี้ คุณจะลดการทำงานซ้ำของ photoresist ปรับปรุงการยึดเกาะ และควบคุมความกว้างเส้นได้ดีขึ้น ผลตอบแทนคืออัตราการผลิตที่สม่ำเสมอ ของเสียน้อยลง และช่วงเวลาบำรุงรักษาที่สามารถวางแผนได้จริง การใช้พลังงานจะอยู่ในเกณฑ์ที่เหมาะสมเนื่องจากการเพิ่มขึ้นไปยังจุดตั้งค่าทำได้รวดเร็ว และความเฉื่อยความร้อนต่ำ ทำให้การเปลี่ยนสูตรกระบวนการตั้งตัวอย่างรวดเร็วโดยไม่มีการเกินค่า
สิ่งที่ควรระวัง
จับคู่หลอดไฟกับรุ่น Evatec evaporator และโมดูลอบที่ระบุให้ถูกต้อง ตรวจสอบขั้วต่อ แรงดันไฟฟ้า และการจัดแนวเส้นทางระบายความร้อนให้แม่นยำ การไม่ตรงกันจะทำให้เกิดจุดร้อนและทำให้หลอดไฟเสียเร็ว ควรกำหนดการสอบเทียบเป็นระยะสำหรับเส้นทางไพรโอมิเตอร์เพื่อรักษาความแม่นยำ คาดว่าอายุการใช้งานจะสั้นลงหากทำงานที่กำลังสูงสุดอย่างต่อเนื่อง ดังนั้นควรตั้งค่าที่ต่ำสุดเท่าที่ยังผ่านข้อกำหนดของกระบวนการได้