ในขั้นตอนการผลิตชิปไดรเวอร์แสดงผลนั้น วัสดุ IC ที่ใช้ในการแสดงผลไม่สามารถทนต่อความเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิได้เลย หากอุณหภูมิเพิ่มขึ้นเพียง 0.5°C เท่านั้น ความหนาของฟอโตเรซิสต์ก็จะเปลี่ยนแปลงไป และความสามารถในการถ่ายภาพก็จะลดลง
ในขั้นตอนการอบให้แห้งนั้น ความชื้นที่ยังคงอยู่จะก่อให้เกิดปัญหาเรื่องการเชื่อมต่อของส่วนประกอบต่างๆ ซึ่งเราจะไม่สามารถมองเห็นปัญหานี้ได้จนกระทั่งผลผลิตลดลงหลังจากผ่านไปหลายสัปดาห์ เราได้ออกแบบเครื่องอุ่นด้วยรังสีอินฟราเรดมาเพื่อแก้ปัญหาเหล่านี้โดยเฉพาะ โดยมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวด ไม่มีพื้นที่สำหรับความเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ และมีความสามารถในการทำซ้ำได้อย่างแม่นยำ
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราใช้รังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นพร้อมกับเครื่องออกก๊าซควอตซ์ที่มีความไวสูง สำหรับวัสดุขนาด 200 มม. และ 300 มม. จะมีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.1°C ส่วนความสามารถในการทำซ้ำอุณหภูมิระหว่างการอบนั้นอยู่ที่ ±0.2°C ดังนั้นการอบแบบอ่อน การอบแบบแข็ง และการบ่มฟอโตเรซิสต์จะสามารถทำได้อย่างแม่นยำโดยไม่ต้องปรับอุณหภูมิ
เครื่องอุ่นนี้ถูกใช้ในห้องปลอดภัยระดับ Class 1–100 ซึ่งไม่มีอนุภาคใดๆ เกิดขึ้นเลย โดยมีการตรวจสอบอนุภาคแบบเรียลไทม์ การใช้พลังงานถูกปรับให้เหมาะสมกับสูตรการผลิต และอุณหภูมิจะคงที่ภายใน 10 มิลลิวินาที ซึ่งช่วยปกป้องชั้นฟิล์มบางๆ จากความเครียดทางอุณหภูมิ
เหตุผลที่เครื่องอุ่นนี้เหมาะสำหรับการผลิตชิปไดรเวอร์แสดงผล ชิปไดรเวอร์แสดงผลมีความไวต่ออุณหภูมิมาก เนื่องจากมีวัสดุที่มีค่า dielectric constant ต่ำ โลหะที่มีความหนาบาง และมีระยะห่างระหว่างส่วนประกอบที่เล็กมาก ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวด ด้วยรังสีอินฟราเรดของเรา ประสิทธิภาพของฟอโตเรซิสต์จะคงที่ ทำให้การแก้ไขข้อผิดพลาดลดลง และการเปลี่ยนสูตรการผลิตก็สามารถทำได้อย่างรวดเร็ว เพราะไม่มีความเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิระหว่างการอบ
การอบให้แห้งจะทำให้วัสดุแห้งสม่ำเสมอ ซึ่งช่วยลดความถี่ของข้อผิดพลาด และทำให้การวางตำแหน่งของวัสดุมีความแม่นยำมากขึ้น ผลลัพธ์คือการควบคุมขนาดของชิปได้อย่างแม่นยำ มีข้อผิดพลาดน้อยลง และกระบวนการผลิตก็สามารถทำซ้ำได้อย่างแม่นยำในแต่ละรอบการผลิต
สิ่งที่ควรรู้ก่อนนำเครื่องอุ่นนี้มาใช้ เครื่องอุ่นนี้สามารถติดตั้งได้กับระบบการอบที่มีอยู่แล้ว แต่ต้องมีการปรับตำแหน่งให้แม่นยำ ระยะห่างระหว่างเครื่องอุ่นกับวัสดุต้องอยู่ที่ ±0.5 มิลลิเมตร เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ
การถ่ายโอนสูตรการผลิตนั้น จำเป็นต้องปรับให้มวลความร้อนของวัสดุและค่า emissivity ของด้านหลังวัสดุสอดคล้องกัน ควรมีการทดสอบเบื้องต้นเพื่อกำหนดอัตราการเพิ่มอุณหภูมิและเวลาการอบ หลังจากนั้นเครื่องอุ่นนี้ก็สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยมีการบำรุงรักษาเพียงเล็กน้อยเท่านั้น และหลอดไฟมีอายุการใช้งานมากกว่า 5,000 ชั่วโมงด้วยกำลังไฟที่คงที่