На практике качество процедуры промывки после чистки зависит от эффективности этапа сушки. Если контроль температуры недостаточно точен, на поверхности пластины могут появиться следы воды, градиенты поверхностного натяжения и микрозагрязнения. Мы разработали специальный модуль для сушки пластин, чтобы устранить такие проблемы после чистки. Благодаря этому пластина передается на этап литографии с стабильной, сухой поверхностью и предсказуемыми температурными параметрами.
Что действительно имеет значение В составе модуля используются источники инфракрасного излучения короткой и средней длины волн, расположенные внутри кварцевого корпуса. Это позволяает быстро и выборочно нагревать поверхность пластины. Температура на всей поверхности пластины контролируется с точностью до ±0,1°C, а пространственная однородность также находится в пределах этого диапазона. Корпус модуля соответствует требованиям чистых помещений класса 1: используются материалы с низким уровнем выделения газов, а система вентиляции обеспечивает отсутствие частиц во время работы. Плотность мощности регулируется так, чтобы быстро удалить слой жидкости с поверхности пластины, не превышая при этом температурные пределы фоторезиста.
Почему это подходит для процесса После чистки необходима сухая, без загрязнений пластина перед процедурой нанесения фоторезиста и его запекания. Этот модуль позволяет быстро осушить пластину, что сокращает время обработки без создания тепловых нагрузок на пластину. Условия запекания остаются стабильными, поскольку поверхность пластины остается однородной – нет скрытой воды, которая могла бы повлиять на процесс испарения растворителя. Это повышает возможности повторяемости процесса, а также сокращает время простоя оборудования. Модуль рассчитан на круглосуточную работу, обеспечивая стабильную работу в течение более 5,000 часов.
Замечания, которые пригодятся вам позже Для правильной установки необходима точная регулировка положения модуля относительно вентиляционной системы процессной камеры, а также стабильное напряжение на контактах модуля. Интенсивность излучения зависит от положения модуля, поэтому необходимо однажды установить нужное положение, задокументировать его и закрепить. Модуль работает наилучшим образом, когда влажность в чистом помещении находится в пределах допустимых значений; при выходе за эти рамки время сушки увеличивается. Необходимо регулярно калибровать интенсивность излучения, чтобы сохранить точность до ±0,1°C, что обеспечивает правильное выполнение процедуры сушки.