Как контролировать температуру в производственных помещениях для производства полупроводников
Если вы работаете на заводе по производству полупроводников, вы знаете, какую угрозу представляет даже один крошечный загрязняющий элемент, способный испортить целый кристалл. Именно поэтому используются нагревательные лампы с очень высоким уровнем чистоты. Но будем честны: старый способ работы — просто настроить все и забыть об этом — уже не подходит.
Вашим нагревательным системам необходимо иметь возможность связи с ПЛК, чтобы они могли в реальном времени корректировать параметры нагрева.
Магия инфракрасного излучения
Мы используем излучатели с короткой длиной волны, потому что они работают очень быстро. Энергия направляется непосредственно в сам кристалл, без лишних потерь на нагрев воздуха вокруг него. Путем регулировки напряжения и частоты можно достичь нужной температуры за считаные секунды. Это очень важно, ведь таким образом сохраняется низкий уровень тепловых нагрузок, что предотвращает распространение дополнительных веществ в тех местах, где это не нужно.
Сделаем систему „умной“
Современные производства основаны на использовании данных. Мы подключаем эти лампы к системам замкнутого контроля, что позволяет избежать ошибок, связанных с приблизительными оценками. Пирометры передают данные о температуре в контроллер, который затем регулирует мощность нагрева. Это устраняет проблемы, связанные с использованием традиционных резистивных нагревателей. Кроме того, создается цифровой журнал всех термических циклов. Это очень полезно для технического обслуживания: можно заметить, когда лампа начинает тускнеть, и заменить её до того, как она совсем перестанет работать.
Проблемы
Но есть и сложности. Системы с высокой плотностью инфракрасного излучения потребляют большое количество энергии. При обработке кристаллов размером 300 мм корпус лампы сильно нагревается. Необходимо правильно настроить систему охлаждения. Если поток воздуха снижается хотя бы немного, корпус будет перегреваться, а филаменты сгорят раньше времени. Ещё одна проблема — проводка. При использовании цифровых сетей крайне важно использовать экранированные кабели и надежную систему заземления, чтобы сигналы оставались чистыми. В противном случае вы будете бороться с иллюзиями в своих данных.