На производственной линии отклонения температуры во время сушки пластин или обработки фотополимера — это не просто небольшие колебания на графике SPC. Это приводит к снижению качества продукции. Мы разработали систему с использованием высокотемпературных инфракрасных нагревателей, поскольку они обеспечивают стабильное и быстрое нагревание поверхности пластины без необходимости её физического контакта с нагревателем.
Что имеет значение Инфракрасная энергия быстро проникает сквозь слои пластины и нагревательной ленты, что позволяет быстро достичь заданной температуры и поддерживать её на этом уровне. Уровень неоднородности температуры составляет ±0,1°C, что способствует сохранению точных размеров пластины после обработки. Система позволяет осуществлять как мягкую, так и жесткую обработку при строгом контроле температуры, что снижает вариабельность свойств фотополимера.
Система пригодна для использования в чистых комнатах класса 1–100. Она использует материалы с низким содержанием частиц, а также имеет такую конструкцию, что минимизирует выброс газов. Нагреватели работают круглосуточно при высоких температурах, и их эффективность сохраняется на протяжении тысяч циклов.
Почему это подходит для процесса После очистки пластины необходимо провести процедуру сушки, а после нанесения фотополимера — процедуру обработки при высоких температурах. Инфракрасные нагреватели позволяют получать тепло по мере необходимости, что сокращает время обработки и снижает потребление энергии, при этом сохраняется однородность температуры. Это способствует более точному контролю размеров пластины, сокращению количества исправлений и повышению производительности.
Интерфейс между нагревателем и пластиной остается стабильным при многократном использовании, что обеспечивает стабильный тепловой контакт между ними.
На что следует обратить внимание Инфракрасные нагреватели требуют прямого видимого контакта с поверхностью пластины; присутствие зазоров мешает этому. Лента должна иметь одинаковую толщину и силу сцепления на всей поверхности пластины; в противном случае возникают локальные точки повышенной температуры. Необходимо контролировать направление потока воздуха и использовать защитные элементы, чтобы избежать попадания посторонних отражений света.
Мы предоставляем рекомендации по выбору ленты и способам её крепления. Рекомендуется провести тестирование перед началом полноценного использования системы.