На этапе производства чипов драйверов дисплеев небольшие температурные отклонения недопустимы. Даже незначительное отклонение в 0,5°C уже может привести к изменению толщины фотополимера. В результате снижается точность обработки.
В камере сушки избыточная влага может привести к возникновению микромостиков между элементами чипа. Это становится очевидным лишь спустя несколько недель, когда снижается качество продукции. Мы разработали инфракрасные нагреватели именно для решения этих проблем: строгое контролирование температуры, отсутствие возможности для отклонений, высокая степень повторяемости процесса.
Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем инфракрасные излучатели с быстрой реакцией. Для пластин размером 200 мм и 300 мм удается достичь однородности температуры на уровне ±0,1°C. Повторяемость температуры при процессе сушки составляет ±0,2°C, что позволяет сохранять заданные параметры процесса без необходимости постоянного корректирования.
Устройство работает в чистых комнатах класса 1–100, где не происходит образования частиц; это подтверждается контролем за количеством частиц в процессе работы. Потребление энергии регулируется в соответствии с требованиями процесса, а профили температурного режима повторяются с точностью до 10 мс. Это защищает тонкие слои материала от термических нагрузок.
Почему это важно при производстве чипов драйверов дисплеев
Структура чипа очень чувствительна к температурным изменениям: используются диэлектрики с низкой проницаемостью, тонкие металлические слои, элементы с мелкой шаговой расстоянием между ними. Поэтому необходим строгий контроль температуры. Благодаря нашим инфракрасным нагревателям качество фотополимера остается стабильным. Снижается количество бракованных изделий, а время переключения между разными процессами сокращается благодаря отсутствию длительных времен разогрева.
Сушка пластин происходит с единым уровнем удаления влаги, что снижает количество дефектов и стабилизирует процесс литографии. Это позволяет получать изделия с более точными размерами и минимальным количеством ошибок.
Что нужно знать перед использованием
Нагреватели можно использовать в существующих установках, но необходимо строго соблюдать правила выравнивания. Расстояние между излучателем и пластиной должно составлять не более ±0,5 мм для сохранения однородности температуры.
При переносе параметров процесса необходимо учитывать теплоемкость носителя и коэффициент излучения задней стороны пластины. Необходимо провести короткую проверку для определения параметров процесса. После настройки устройство может работать круглосуточно с минимальным обслуживанием. Лампы рассчитаны на работу более 5 000 часов при стабильной мощности.