Pare de esperar pelo ar quente: por que o aquecimento infravermelho é a solução ideal
Muitas linhas de produção de semicondutores ainda usam sistemas de circulação de ar quente. Isso é comum, especialmente em equipamentos mais antigos. Mas, honestamente, é um processo lento e eficiente.
Quando se depende do ar forçado para aquecer o ambiente, está-se lutando contra as leis da física. É preciso aquecer cada centímetro cúbico de ar presente na câmara antes que a peça a ser processada sinta o calor. É lento e tedioso. Em um ambiente de produção, esse tempo de espera representa apenas perda de dinheiro.
Eliminando o intermediário
O aquecimento infravermelho funciona de maneira diferente. Em vez de aquecer o ar, ele envia energia diretamente ao substrato, por meio de radiação eletromagnética. Não há necessidade de esperar ou de “aquecer toda a câmara”.
Nós fabricamos os invólucros dos nossos aquecedores em aço inoxidável, para direcionar melhor a energia. Com refletores precisamente montados, conseguimos direcionar as ondas infravermelhas diretamente para o alvo.
O resultado? O tempo de aquecimento é praticamente instantâneo. Isso significa que é possível reduzir o tempo de aquecimento em 40% a 70%, em comparação com os antigos fornos convencionais. Em uma fábrica com alta capacidade de produção, isso representa uma grande melhoria na quantidade de wafers que podem ser processadas por hora.
Os aspectos técnicos
Não basta simplesmente colocar esses equipamentos em uma caixa qualquer. Usamos aço inoxidável de alta qualidade, pois ele não se deforma nem sofre oxidação quando está quente.
Pense no invólucro como um escudo térmico. Ele mantém o calor onde deve estar e evita que ele afete os componentes eletrônicos próximos. Além disso, você ganha espaço no chão. Os sistemas infravermelhos são muito mais compactos do que那些 enormes sistemas de ventilação.
Mas há um problema: o aquecimento infravermelho é direcional. Se a peça tiver formas estranhas ou cantos profundos, pode haver “pontos frios”, onde a luz não consegue chegar. Por isso, gastamos muito tempo ajustando a posição das lâmpadas, para que o calor atinja todos os cantos da peça.
Fazendo a mudança
Passar para o aquecimento infravermelho geralmente é uma substituição bastante simples pelo sistema tradicional de aquecimento. Basta remover os ventiladores e os dutos de ar, conectar os controladores e montar os invólucros.
Depois disso, você não precisa mais se preocupar com a circulação do ar. Em vez disso, você foca na densidade de potência e na correspondência entre o comprimento de onda e o material a ser aquecido.
Esse último ponto é crucial. Se o comprimento de onda não corresponder ao material, o calor simplesmente será refletido. Se tudo estiver correto, todo o processo será bem mais eficiente.