Na linha de produção, os chips dos drivers de display não permitem qualquer tipo de desvio térmico. Mesmo um desvio de 0,5°C já é suficiente para que a espessura do fotoresisto comece a variar. A precisão na exposição também diminui.
Na câmara de secagem, a umidade que não é completamente removida pode causar micro-bridges entre as partes do chip. Isso só é percebido semanas depois, quando a qualidade do produto cai. Criamos nosso aquecedor infravermelho justamente para resolver esses problemas: controle térmico preciso, sem espaço para desvios, e repetibilidade como critério básico.
O que é importante, tecnicamente: Utilizamos emissores de infravermelho de onda curta com resposta rápida. Em wafers de 200 mm e 300 mm, conseguimos uma uniformidade dentro de ±0,1°C. A repetibilidade da temperatura durante o processo de secagem fica em ±0,2°C. Assim, o processo de secagem, cura do fotoresisto e outros passos relacionados mantêm-se dentro dos parâmetros desejados, sem necessidade de ajustes constantes.
O equipamento funciona em salas limpas de classe 1–100, sem geração de partículas, conforme confirmado pelo monitoramento contínuo de partículas. O consumo de energia é ajustado de acordo com as especificações do processo, e os perfis de aquecimento são repetíveis em 10 ms. Isso protege as camadas finas do chip contra estresses térmicos.
Por que isso é útil no processamento de chips de drivers de display: As camadas do chip são sensíveis: dielétricos de baixa constante dielétrica, metais finos, distâncias pequenas entre as camadas. O controle térmico precisa ser rigoroso. Com nosso sistema de aquecimento infravermelho, o desempenho do fotoresisto fica estável. Isso reduz a necessidade de retrabalho e agiliza a troca de produtos, já que não há mais necessidade de períodos longos de aquecimento.
A secagem dos wafers é feita de maneira consistente, o que reduz a densidade de defeitos e estabiliza o processo de litografia. O resultado é um controle mais preciso das dimensões críticas do chip, menos eventos de desfoque e um processo que funciona de forma previsível, de turno em turno.
Coisas que você precisa saber antes de usar o equipamento: O aquecedor pode ser instalado em trilhos e placas de secagem existentes, mas a alinhamento precisa ser preciso. A distância entre o emissor e o wafer deve ficar entre ±0,5 mm para manter a uniformidade.
É necessário adaptar as condições térmicas do equipamento às características do wafer. É importante realizar testes iniciais para determinar os tempos de aquecimento ideais. Uma vez configurado, o equipamento pode funcionar 24/7 com pouca manutenção. As lâmpadas têm vida útil de mais de 5.000 horas, com desempenho estável.