Na końcu procesu mycia, całość procedury polega na dokładnym osuszeniu płytki krzemowej – a jej jakość zależy od etapu suszenia. Jeśli kontrola temperatury nie jest precyzyjna, pojawiają się ślady wody, nierównomierności naprężeń powierzchniowych oraz mikrozanieczyszczenia. Nasz moduł do suszenia płytek został zaprojektowany tak, aby wyeliminować te problemy po procesie mycia – dzięki temu płyta krzemowa trafia do kolejnych etapów obróbki z stabilną, suchą powierzchnią i przewidywalnymi parametrami termicznymi.
Co naprawdę ma znaczenie Moduł łączy źródła promieniowania podczerwonego krótko- i średniofalowego w obudowie z kwarcem, co umożliwia szybkie i selektywne nagrzewanie powierzchni płytki. Utrzymujemy powtarzalność temperatury na poziomie ±0,1°C na całej powierzchni płytki, a jednorodność temperatury również mieści się w tym zakresie tolerancji. Moduł jest dostosowany do pracy w środowisku klasy 1 – używa materiałów o niskiej emisji gazów, a także systemu dopływu powietrza kontrolowanego pod względem ilości cząstek, co zapobiega ich powstawaniu podczas pracy. Gęstość mocy jest tak dobrana, aby szybko usunąć warstwę wody bez przekroczenia dopuszczalnych wartości termicznych fotorezystu.
Dlaczego to rozwiązanie jest skuteczne Po procesie mycia potrzebna jest sucha, nieskażona płyta krzemowa przed dalszą obróbką. Ten moduł suszy płytkę w ciągu kilku sekund, dzięki czemu czas procesu zmniejsza się, a płyta nie jest narażona na nadmierny stres termiczny. Profile suszenia pozostają stabilne, ponieważ powierzchnia płytki jest jednolita – nie ma żadnej ukrytej wody, która mogłaby zakłócić proces parowania rozpuszczalników. Powtarzalność procesu się poprawia, a przerwy w produkcji zmniejszają się, ponieważ moduł został zaprojektowany do pracy 24/7, przy stabilnej wydajności przez ponad 5 000 godzin.
Wskazówki, których będzie Pan/Ona wdzięczny/powiedziała później Instalacja wymaga dokładnego ustawienia modułu w odniesieniu do wydechu komory procesowej oraz stabilnej wartości napięcia na terminalach modułu. Intensywność światła zależy od pola ustawienia modułu, dlatego należy ją ustalić raz, udokumentować i utrzymać w tej wartości. Moduł pracuje najlepiej, gdy wilgotność w pomieszczeniu jest kontrolowana w określonym przedziale; poza tym przedziałem czas suszenia może się zmieniać. Należy planować regularną kalibrację intensywności światła, aby utrzymać powtarzalność na poziomie ±0,1°C, co jest ważne dla prawidłowego przebiegu procesu suszenia.