Na powierzchni płytki krzemowej, niewielkie odchylenia temperatury podczas procesu epitaksji GaN nie tylko wpływają negatywnie na efektywność produkcji – one nawet całkowicie ją niszczą. Traci się kontrolę nad grubością warstwy, a także spójność jej odporności elektrycznej. Urządzenia znajdujące się na brzegach płytki, za które klienci płacą, po prostu nie funkcjonują poprawnie.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Używamy grzejnika IR typu MOCVD, który zapewnia jednorodność temperatury na poziomie poniżej milimetra, dzięki połączeniu dobrze kontrolowanego źródła promieniowania krótkofalowego z elementami termicznymi na bazie kwarcu. Dzięki temu uzyskujemy powtarzalne warunki termiczne na całej powierzchni płytki, przy tolerancji ±0,1°C. To nie są tylko wartości laboratoryjne – to ten sam profil termiczny, uzyskiwany za każdym razem, w każdej komorze.
Platforma ta została zaprojektowana tak, aby funkcjonować w warunkach czystej sali produkcyjnej: brak tworzenia się cząstek w stanie stabilnym oraz stabilna moc wyjściowa w środowiskach klasy 1–100.
Dlaczego to rozwiązanie sprawdza się w procesie MOCVD? W procesie MOCVD kluczową rolę odgrywa powtarzalność warunków termicznych – to ona decyduje o tym, czy proces będzie przewidywalny, czy też doprowadzi do kosztownych korekt. Dzięki temu uzyskuje się stabilne warunki termiczne pomiędzy poszczególnymi rundami procesu, co zmniejsza liczbę problemów związanych z kalibracją urządzeń.
Grzejnik reaguje szybko i umożliwia precyzyjną kontrolę temperatury, dzięki czemu czas stabilizacji maleje. Czas cyklu również się skraca, bez konieczności kompromisów co do jakości warstwy wytwarzanej. Zużycie energii jest również lepsze – moc wyjściowa grzejnika jest dostosowywana do obciążenia, a nie zwiększana, aby pokonać „gorące punkty” na powierzchni płytki.
Praktyczne aspekty, z którymi można się spotkać Grzejnik nadaje się do użycia z standardowymi platformami MOCVD, ale jego integracja zależy od geometrii komory oraz drogi światła do elementu grzewczego. Konieczna jest wspólna kalibracja, aby ustalić właściwe parametry emisyjności, ustawienia i kontrolę pracy grzejnika.
Oczekujcie niewielkiego spadku intensywności światła, gdy elementy kwarcowe zaczną się pokrywać warstwą osadu. Regularna konserwacja pozwoli utrzymać jednorodność temperatury w wymaganym zakresie.