W procesie produkcji układów sterujących ekranami płytki z układami scalonymi nie tolerują żadnych odchyleń termicznych. Nawet niewielka odchylenie o 0,5°C w temperaturze pieczenia powoduje, że grubość fotorezystu zaczyna się zmieniać. To z kolei wpływa negatywnie na jakość produktu.
W komorze suszenia wilgoć, która nie została w pełni usunięta, może doprowadzić do powstania mikropomostów pomiędzy elementami układu. Tego nie można zaobserwować od razu – efekty negatywne pojawiają się dopiero po kilku tygodniach. Stworzyliśmy nasz grzejnik podczerwieni właśnie po to, aby rozwiązać te problemy: precyzyjny kontrola temperatury, brak możliwości odchyleń, a także możliwość powtarzalnego uzyskiwania takich samych rezultatów.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Używamy podczerwonego promieniowania krótkofalowego z emiterami kwarcowymi o szybkim czasie reakcji. Dzięki temu uzyskujemy jednolitość temperatury na poziomie ±0,1°C dla płytek o rozmiarach 200 mm i 300 mm. Powtarzalność temperatury podczas procesu pieczenia wynosi ±0,2°C, dzięki czemu proces pieczenia oraz utwardzanie fotorezystu przebiega prawidłowo, bez konieczności dostosowywania ustawień.
Proces produkcji odbywa się w pomieszczeniach klasy 1–100, gdzie nie ma żadnych cząstek, co potwierdza monitorowanie cząstek w trakcie procesu. Zużycie energii jest dostosowane do specyfiki procesu, a profile temperatury są powtarzalne w czasie 10 ms. To chroni cienkie warstwy materiałowe przed oddziaływaniem termicznym.
Dlaczego ten rozwiązanie jest przydatne w procesie produkcji układów sterujących ekranami? Układy te są bardzo wrażliwe na zmiany temperatury: używa się w nich dielektryków o niskiej dielektryczności, cienkich warstw metalu itp. Dlatego kontrola temperatury musi być precyzyjna. Dzięki naszemu rozwiązaniu jakość fotorezystu jest stabilna. Zmniejsza się też liczba błędów, a proces produkcji staje się bardziej przewidywalny.
Co należy wiedzieć przed wdrożeniem tego rozwiązania? Grzejnik pasuje do istniejących urządzeń do pieczenia, ale wymaga precyzyjnego ustawienia. Odległość między emiterem a płytką musi mieścić się w granicach ±0,5 mm, aby zachować jednolitość temperatury.
Aby proces był skuteczny, należy dostosować masę cieplną nośnika oraz emisyjność tylnej strony płytki. Należy przeprowadzić krótkie testy, aby ustalić odpowiednie parametry. Po ustawieniu wszystkiego, urządzenie może pracować 24/7 z minimalną konserwacją. Żarówki są przeznaczone do pracy przez ponad 5 000 godzin przy stabilnym wydajności.