Tijdens het proces is de kwaliteit van het spoelen na het reinigen afhankelijk van de droogingsstap die daarna volgt. Als de thermische controle niet goed is, zul je watervlekken, verschillen in oppervlaktetension en microverontreinigingen zien. We hebben onze lampmodule voor het drogen van wafers ontworpen om deze variabiliteit na het reinigen weg te nemen. Hierdoor heeft de wafer een stabiel, droog oppervlak en kan de lithografieproces op een voorspelbare manier worden uitgevoerd.
Wat er echt toe doet De module combineert kortegolfröntgolven en midden-golfröntgolven in één lampmodule, waardoor het oppervlak snel en selectief kan worden opgewarmd. De gewenste temperatuur blijft binnen ±0,1°C, en ook de ruimtelijke uniformiteit is binnen dezelfde tolerantiebereik. De module is geschikt voor gebruik in een schone ruimte van klasse 1: er worden geen schadelijke stoffen afgegeven en de luchtcirculatie zorgt ervoor dat er geen deeltjes vrijkomen tijdens het proces. De vermogensdichtheid is zo gekalibreerd dat het spoelmiddel snel kan worden verwijderd, zonder dat de temperatuur van het fotoresistent te hoog wordt.
Waarom dit past in het proces Na het reinigen moet de wafer droog en onverontreinigd zijn voordat het fotoresistent kan worden aangebracht en verhit. Deze lamp droogt de wafer in slechts enkele seconden, waardoor de cyclustijd korter wordt en de wafer geen thermische stress ervaart. De warmtetemperatuur blijft stabiel, omdat het oppervlak constant is – er is geen verborgen water dat de verdamping van het oplosmiddel beïnvloedt. Hierdoor verbetert de herhalbaarheid van het proces en neemt de tijd die nodig is voor onvoorziene stilstanden af. De module is ontworpen om 24/7 te werken, met een stabiele prestatie gedurende meer dan 5.000 uur.
Notities die je later zeker waardevol zult vinden Voor een correcte installatie is het belangrijk om de lamp precies te aligneren met de uitlaat van de proceskamer en om de spanning aan de terminals te controleren. De uitgaande intensiteit is gevoelig voor de positie van de lamp, dus stel deze één keer in, documenteer het en houd het vast. De lamp presteert het beste wanneer de luchtvochtigheid in de schone ruimte binnen de benodigde grenzen blijft. Buiten deze grenzen zal de droogtijd toenemen. Plan regelmatige kalibraties in, zodat de herhalbaarheid van ±0,1°C behouden blijft.