De warmte in uw fabriek onder controle krijgen
Als u werkt in een halfgeleiderfabriek, kent u het nachtmerrieachtige gevoel wanneer één enkele vervuiling een hele chip verwoest. Hier komen de ultraschoonheidsverwarmingslampen om de hoek kijken. Maar laten we eerlijk zijn: de oude manier van ‘het gewoon instellen en vergeten’ werkt niet meer.
Uw verwarmsystemen moeten in staat zijn om te communiceren met uw PLC en op het juiste moment aanpassingen te maken.
De kracht van UHP-infraroodstraling
We gebruiken korte-golf-infraroodemitters, omdat ze ontzettend snel zijn. In plaats van tijd te verspillen aan het opwarmen van de lucht rondom de chip, gaat de energie rechtstreeks naar het substraat.
Door de spanning en het belastingcircuit aan te passen, kunt u het gewenste temperatuurniveau in seconden bereiken. Dat is snel – echt snel. En dat is belangrijk, want zo blijft de thermische last laag, zodat dopanten zich niet op de verkeerde plekken kunnen verspreiden.
Het ‘slim’ maken van het systeem
Een moderne fabriek draait om data. We verbinden deze lampen met gesloten-lusfeedbacksystemen, zodat u geen gokken hoeft te doen. Pyrometeren sturen in real time temperatuurdetecties door naar de controller, die vervolgens de stroomsterkte kan aanpassen. Hierdoor verdwijnen die storende ‘blinde vlekken’ die voorkomen bij traditionele verwarmsystemen.
Bovendien krijgt u een digitale registratie van elke thermische cyclus. Dit is erg handig voor onderhoud: u kunt zien wanneer een lamp begint te falen en hem ruilen voordat deze uitvalt en een productieproces verstoort.
De moeilijkheden
Er zijn echter ook uitdagingen. Hoge-dichtheidsinfraroodsystemen vereisen veel energie. Wanneer u 300mm-chips verwerkt, wordt de behuizing van de lamp erg heet.
U moet de koelsystemen goed instellen. Als de luchtcirculatie zelfs maar iets afneemt, wordt de behuizing te heet en zullen de filamenten eerder kapotgaan dan nodig is.
Nog een belangrijk punt: de bedrading.
Wanneer u overgaat op een digitaal systeem, is bescherming tegen elektromagnetische storingen cruciaal. Hoge frequenties in de stroomvoorziening kunnen veel elektronische ‘ruis’ veroorzaken, waardoor de sensoren worden beïnvloed. Gebruik dus beschermd kabelwerk en een goede aarding, zodat de signalen schoon blijven. Anders zit u alleen maar achter schimmen aan in uw gegevens.