Op de productieruimte betekent temperatuurschwankingen tijdens het drogen van de wafers of het bakken van de fotoresist niet zomaar een klein probleem op het SPC-dashboard. Het leidt juist tot verminderde opbrengst. Onze oplossing voor hoge temperaturen maakt gebruik van kortegolflengte-infraroodverwarming (NIR). Hierdoor wordt er stabiele en snelle warmte toegepast op het substraat, zonder dat dit in contact komt met het substraat zelf.
Wat belangrijk is
De energie van NIR dringt snel door het substraat heen, zodat de gewenste temperatuur snel wordt bereikt en behouden blijft. Er is sprake van een uniformiteit van ±0,1°C over het hele oppervlak van de wafer. Dit zorgt er vervolgens voor dat de cruciale dimensies na de bestraling nauwkeurig blijven. Het systeem kan zowel zachte als harde bakprocessen uitvoeren, met strikte controle over de warmtetoevoer. Hierdoor neemt de variabiliteit in de warmteoverdracht af.
Het systeem is geschikt voor gebruik in schone kamers van klasse 1–100. De materialen hebben weinig deeltjes en het ontwerp zorgt ervoor dat er weinig gas vrijkomt. De verwarmers werken dag in, dag uit op hoge temperaturen, en de prestaties blijven consistent, zelfs na duizenden cycli.
Waarom het past bij het proces
Na de reinigingsstappen is drogen noodzakelijk, en na het spinnen moet de fotoresist worden gebakken. NIR zorgt ervoor dat er op het juiste moment warmte wordt toegepast. Hierdoor wordt de tijd die nodig is om het proces te voltooien verminderd, terwijl de energieverbruik omlaag gaat. Dat betekent betere controle over de dimensies, minder herwerkingswerk en betrouwbare productie.
De interface tussen het substraat en de tape blijft stabiel, zodat de thermische contacten consistent blijven, ongeacht het aantal cycli.
Waarop je moet letten
NIR vereist een rechtlijnige verbinding en kan geen openingen verdragen. De tape moet overal dezelfde dikte en gelijkmatige hechting hebben op het substraat. Anders kunnen er lokale hete plekken ontstaan. Zorg voor goed gereguleerde luchtstroom en bescherming tegen afleidende reflecties.
We bieden richtlijnen voor het kiezen van de tape en het bevestigen ervan. Ik raad aan om eerst een kort testproces uit te voeren om de temperatuurverschillen in kaart te brengen, voordat je overgaat op het gebruik van het systeem in grote volumes.