Bij het drogen van werkpjes, het verhitten van fotoresistenten of het harden van pakketten is een stabiel thermisch budget essentieel. Een paar graden verschil in temperatuur kan ertoe leiden dat belangrijke dimensies veranderen, er restanten achterblijven of de verbindingen zwakker worden. We hebben de keramische eindkappen met IR-emitters ontworpen om deze variabiliteit te verminderen door de hitte op de juiste plek te stabiliseren – precies op de plek waar de belichting plaatsvindt.
Wat echt belangrijk is onder belasting, is de herhaalbaarheid. De keramische eindkappen zorgen voor een stabiele ondersteuning en een nauwkeurige positionering, zodat de IR-bron goed georiënteerd blijft. De emitter reageert snel en nauwkeurig, waardoor de temperatuur in de gewenste zone gelijkmatig blijft. Dit zorgt er weer voor dat de parameters voor het verhitten van fotoresistenten consistent blijven en dat de verwijdering van oplosmiddelen tijdens het drogen van werkpjes goed kan worden geregeld.
Tijdens het harden van pakketten zorgt dezelfde stabiliteit voor een voorspelbaar proces, zonder dat er te veel spanning op de verbindingen komt te staan. Er wordt ook minder stof geproduceerd en de emitter is compatibel met schone ruimtes van klasse 1-100.
Het werkt omdat de emitter past binnen het ritme van半導体productie. In lithografieapparaten houdt de emitter de temperatuur van de fotoresistenten precies onder controle, zodat de kwaliteit van het product behouden blijft. Tijdens het reinigen en drogen zorgt de emitter voor snelle en gelijkmatige warmteoverdracht, zodat het drogen versnelt zonder dat er defecten ontstaan.
Voor het harden van pakketten zorgt de emitter voor een stabiele curve die nodig is voor lijm en encapsulanten. Dit zorgt voor minder herwerkzaamheden en afval. Het resultaat is dat er minder variatie is in de parameters, de cyclustijden stabiel zijn en de opbrengst voorspelbaar is.
Een praktisch punt om rekening mee te houden: keramische emitters zijn gevoelig voor mechanische schokken. De positie van de emitter ten opzichte van het substraat moet dus perfect zijn. Ontwerp de bevestigingsconstructie zo dat de emitter zich steeds op dezelfde plek bevindt. Geef de emitter ook even de tijd om tot evenwicht te komen voordat het proces begint. Pas de emitter ook aan op je spanning- en frequentieprofiel – anders zal de uitgangsspanning niet stabiel blijven na 5.000 uur gebruik.