Mengawal Suhu Dalam Kilang Semikonduktor
Jika anda bekerja di kilang semikonduktor, anda pasti tahu betapa buruknya akibatnya apabila ada sedikit pun kotoran yang merosakkan keseluruhan wafer tersebut. Itulah sebabnya lampu pemanas berketulenan ultra tinggi digunakan. Namun, cara lama iaitu “tetapkan sahaja dan biarkan begitu” sudah tidak lagi sesuai.
Anda perlu memastikan sistem pemanasan dapat berkomunikasi dengan PLC untuk membuat penyesuaian secara masa nyata.
Kehebatan Inframerah UHP
Kita menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek kerana ia sangat cepat bertindak. Daripada membuang masa untuk memanaskan udara di sekeliling wafer, tenaga akan masuk terus ke dalam substrat tersebut. Dengan menyesuaikan voltan dan frekuensi, suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam beberapa saat sahaja. Ini sangat penting, kerana ia membantu mengurangkan penggunaan tenaga, sekali gus menghalang bahan-bahan tertentu daripada merebak ke tempat yang tidak sepatutnya.
Membuat Sistem Ini “Pintar”
Kilang semikonduktor moden bergantung sepenuhnya pada data. Kita sambungkan lampu-lampu ini ke sistem maklum balas tertutup, supaya kita tidak perlu membuat tekaan semata-mata. Pyrometer akan menghantar bacaan suhu secara masa nyata kepada pengawal, yang kemudian akan menyesuaikan kuasa pemanasan. Ini membantu mengelakkan masalah seperti “titik buta” yang sering berlaku dengan pemanas jenis resistif.
Selain itu, anda juga akan mendapat rekod digital tentang setiap kitaran pemanasan. Ini sangat berguna untuk tujuan penyelenggaraan. Anda boleh melihat bila lampu mula rosak dan menukar lampu tersebut sebelum ia rosak sepenuhnya dan mengganggu proses pengeluaran.
Cabaran yang Perlu Diatasi
Masalahnya ialah sistem inframerah berketumpatan tinggi memerlukan banyak tenaga. Apabila anda memproses wafer berukuran 300mm, badan lampu akan menjadi sangat panas. Anda perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Jika aliran udara berkurangan sedikit saja, badan lampu akan menjadi terlalu panas, dan filamen lampu akan rosak lebih awal daripada yang sepatutnya.
Satu lagi perkara yang perlu diperhatikan ialah kabel yang digunakan. Apabila menggunakan sistem digital, perlindungan dari gangguan elektronik sangat penting. Perubahan frekuensi tinggi dalam bekalan kuasa boleh menyebabkan gangguan pada sensor. Gunakan kabel yang dilindungi dan sistem penggrounding yang baik agar isyarat tetap bersih. Jika tidak, anda hanya akan membuang masa saja.