窒化ガリウム GaN MOCVDヒーター

ウェーハの表面では、GaNエピタキシャル成長中にわずかな温度の変動があっても、それだけで歩留まりが低下するだけでなく、完全に失われてしまいます。厚さの制御ができなくなり、シート抵抗の均一性も保てなくなります。その結果、顧客が高額を支払って入手したデバイスも正常に動作しなくなります。 技術的に重要な...