真空チャンバー用赤外線ヒーター

ウエハーが加熱されるのを待って時間を無駄にするのはやめましょう。 もしまだ半導体の処理に熱風を利用しているのであれば、それはまさに「時間の税金」を支払っているようなものです。 強制送風方式を考えてみてください。まずチャンバ全体を加熱し、次にガスを加熱し、その後でようやくその熱がウエハーに伝わるのを...