1つのランプが壊れるだけで、製品全体が台無しになるのを防ごう
高負荷の半導体製造環境では、1つのランプが壊れることは単なる迷惑どころではありません。それはまさに悪夢です。
石英管が破損すると、熱源を失うだけでなく、ガラスの破片やハロゲンガスが生産エリアに降り注ぎます。これはひどい状況であり、莫大な費用がかかり、数秒でウェーハ全体を廃棄しなければならないこともあります。
だからこそ、私たちは赤外線ランプをこのように設計したのです。二次的な汚染が起きる前にそれを防ぎたかったのです。
汚染を内部に閉じ込める
私たちが採用している方法は、ハロゲン管を高強度の保護カバーで覆うことです。これはまるで安全装置のようなものです。もし内側のランプが圧力で割れたり、寿命が尽きたりしても、そのカバーがすべての破片を受け止めます。そうすれば、シリコンが汚染されることはありません。
また、シール部分にも多大な労力を注ぎました。シール部分が不具合を引き起こしやすいからです。特別なゴムを使用することで、内部の真空が失われても漏れを防ぐことができます。そうすれば、予期せぬ問題や汚染が起きません。
熱に対処する
高出力のランプは、非常に短時間で極端に高温になります。安価な石英を使用すると、微細な亀裂が生じます。最初は小さいですが、何度も温度が急上昇・急下降すると、その亀裂が広がってしまいます。
私たちは高純度の合成石英を使用しています。これにより、熱ストレスに耐えることができます。より耐久性があります。
ただし、冷却システムにも注意が必要です。ランプは高温に耐えられますが、筐体自体が周囲の空気を循環させる機能を持っていなければなりません。筐体が過熱すると、ランプの寿命が短くなってしまいます。簡単な話です。
作業を楽にする
部品を交換するために、ラック全体の配線を再接続するのは面倒です。そこで、私たちは標準化されたコネクタを使用しています。これにより、簡単に交換が可能です。
これは些細なことかもしれませんが、これによって取り付け時のミスが防がれます。電気的な放電もなくなります。正直、これがランプが早期に故障する大きな原因です。
公平に言えば、保護層によって少しのIR光が遮られます。しかし、ランプが破損した後にチャンバー全体を清掃する手間を考えれば、それは妥協点と言えます。