Di lini produksi, fluktuasi suhu selama proses pengeringan wafer atau pemanasan bahan fotoresist bukanlah hal yang sepele. Hal ini berdampak pada penurunan tingkat produksi. Kami mengembangkan solusi pemanas berbasis gelombang inframerah pendek (NIR), karena metode ini mampu memberikan panas yang stabil dan cepat ke permukaan substrat, tanpa perlu menyentuhnya secara langsung.
Yang penting dalam sistem ini: Energi NIR dapat menembus wafer dan lapisan perekat dengan cepat, sehingga suhu dapat dicapai dengan cepat dan tetap stabil. Konsistensi suhu mencapai ±0,1°C di seluruh permukaan wafer, sehingga dimensi-dimensi kritis tetap terjaga setelah proses eksposur. Sistem ini mampu menangani proses pemanasan jenis “soft bake” maupun “hard bake” dengan kontrol suhu yang ketat, sehingga variasi suhu saat pemanasan berkurang.
Sistem ini cocok digunakan di ruang bersih kelas 1–100, karena menggunakan bahan-bahan yang memiliki kadar partikel rendah, serta desain yang mampu meminimalkan emisi gas. Pemanasnya dapat beroperasi terus-menerus pada suhu tinggi, dan kinerjanya tetap stabil meski digunakan ribuan kali.
Mengapa sistem ini cocok untuk proses produksi: Proses pengeringan dan pemanasan diperlukan setelah proses pembersihan dan coating, agar hasil produksi selalu konsisten. NIR memberikan panas sesuai kebutuhan, sehingga waktu pemanasan berkurang dan konsumsi energi pun berkurang, tanpa mengorbankan konsistensi suhu. Dengan demikian, kontrol dimensi wafer menjadi lebih baik, jumlah produk yang perlu diperbaiki berkurang, dan kapasitas produksi pun meningkat.
Antarmuka antara perekat dan wafer tetap stabil meski proses dilakukan berkali-kali, sehingga kontak termal tetap konsisten dari satu batch ke batch lainnya.
Hal-hal yang perlu diperhatikan: NIR membutuhkan pandangan lurus, sehingga tidak boleh ada celah di antara komponen-komponennya. Lapisan perekat harus memiliki ketebalan dan daya rekat yang seragam di seluruh permukaan wafer; jika tidak, akan terjadi daerah-daerah yang panas secara lokal. Pastikan aliran udara dikendalikan dengan baik, agar tidak ada pantulan cahaya yang mengganggu proses.
Kami menyediakan panduan pemilihan perekat dan cara penggunaannya. Saya merekomendasikan untuk melakukan uji coba singkat terlebih dahulu, agar dapat mengetahui pola suhu di seluruh area sebelum mulai menggunakan sistem ini secara penuh.