अपने हीटिंग सिस्टम पर नियंत्रण रखना
यदि आप सेमीकंडक्टर फैब में काम करते हैं, तो आप जानते ही होंगे कि थोड़ी सी गंदगी ही पूरे वेफर को नष्ट कर सकती है। ऐसी स्थितियों में ही अल्ट्रा हाई प्यूरिटी (UHP) हीटर लैंप बहुत काम आते हैं। लेकिन ईमानदारी से कहें तो, “एक बार सेट करके भूल जाने” वाला पुराना तरीका अब काम नहीं करता।
आपके हीटिंग सिस्टम को आपके PLC से जुड़कर तुरंत ही समायोजन करने की आवश्यकता है।
UHP इन्फ्रारेड का चमत्कार
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं, क्योंकि ये बहुत ही तेज़ होते हैं। वेफर के चारों ओर की हवा को गर्म करने में समय बर्बाद करने के बजाय, ऊर्जा सीधे ही सब्सट्रेट में जाती है। वोल्टेज एवं ड्यूटी साइकल को समायोजित करके, आप कुछ ही सेकंड में वांछित तापमान प्राप्त कर सकते हैं। यह बहुत ही तेज़ है… और यही बात महत्वपूर्ण है, क्योंकि इससे थर्मल खर्च कम रहता है, जिससे डोपेंट्स गलत जगहों पर नहीं जा पाते।
“स्मार्ट” हीटिंग सिस्टम
आधुनिक फैबों में डेटा ही सब कुछ है। हम इन लैंपों को क्लोज्ड-लूप फीडबैक सिस्टम से जोड़ते हैं, ताकि आपको अनुमान लगाने की आवश्यकता ही न पड़े। पायरोमीटर्स वास्तविक समय में तापमान की जानकारी कंट्रोलर तक भेजते हैं, जिससे कंट्रोलर ऊर्जा को आवश्यकतानुसार बढ़ा या घटा सकता है। इससे पुराने तरह के रेजिस्टिव हीटरों से होने वाली समस्याओं से छुटकारा मिल जाता है।
इसके अलावा, हर थर्मल साइकल का डिजिटल रिकॉर्ड भी उपलब्ध होता है… यह रखरखाव हेतु बहुत ही उपयोगी है। आप देख सकते हैं कि कौन-सा लैंप धीरे-धीरे कमज़ोर हो रहा है, और उसे जलने से पहले ही बदल सकते हैं।
कठिनाइयाँ
लेकिन यहाँ एक समस्या है… उच्च-घनत्व वाले इन्फ्रारेड सिस्टमों में बहुत अधिक ऊर्जा की आवश्यकता होती है। जब आप 300मिमी वेफरों पर काम कर रहे होते हैं, तो लैंप का हाउसिंग भाग बहुत गर्म हो जाता है। आपको अपने कूलिंग सिस्टमों को बिल्कुल सही तरीके से सेट करना होता है… यदि एयरफ्लो में थोड़ी भी कमी हो जाए, तो हाउसिंग गर्म हो जाएगा, और लैंप के फिलामेंट जल्दी ही खराब हो जाएंगे।
और एक और बात… वायरिंग। डिजिटल ग्रिड में ईएमआई शील्डिंग बहुत ही महत्वपूर्ण है… पावर सप्लाई में हाई-फ्रीक्वेंसी स्विचिंग से बहुत सारा इलेक्ट्रॉनिक “नॉइज” उत्पन्न होता है, जिससे सेंसरों में समस्याएँ हो जाती हैं। इसलिए शील्डेड केबलिंग एवं सही ग्राउंडिंग आवश्यक है… वरना आप अपने डेटा में ही भ्रम में रह जाएंगे।