फैब फ्लोर पर, वेफर को सुखाने या फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान तापमान में होने वाले बदलाव, SPC चार्ट पर केवल एक छोटी सी समस्या ही नहीं हैं… यह तो उत्पादन दर में कमी का कारण भी है। हमने अपने उच्च-तापमान वाले थर्मल टेप समाधान को शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (NIR) ऊर्जा के आधार पर विकसित किया है… क्योंकि यह बिना वेफर को छूए ही उसमें स्थिर एवं तेज़ गर्मी पहुँचाता है।
क्या महत्वपूर्ण है?
NIR ऊर्जा तेज़ी से वेफर एवं टेप में पहुँच जाती है… इससे तापमान जल्दी ही संतुलित हो जाता है। वेफर पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C तक होती है… जिससे एक्सपोज़र के बाद भी वेफर का आकार स्थिर रहता है। यह सिस्टम “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” दोनों प्रकार की प्रक्रियाओं को नियंत्रित करता है… जिससे फोटोरेजिस्ट में होने वाली विविधताएँ कम हो जाती हैं।
यह क्लीनरूम-योग्य क्यों है?
यह सिस्टम क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में उपयोग के लिए उपयुक्त है… क्योंकि इसमें कम कण वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है… एवं इसकी डिज़ाइन ऐसी है कि गैसों का उत्सर्जन कम होता है। हीटर लगातार उच्च तापमान पर काम करते रहते हैं… एवं हर बार उनका प्रदर्शन स्थिर रहता है… हज़ारों बार भी।
यह प्रक्रिया के लिए क्यों उपयुक्त है?
प्रत्येक बार पुनरावृत्ति हेतु, साफ-सफाई के बाद वेफर को सुखाना एवं स्पिन-कोटिंग के बाद उसे गर्म करना आवश्यक है… NIR ऊर्जा आवश्यकता के अनुसार ही गर्मी प्रदान करती है… इससे समय कम हो जाता है… एवं ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… लेकिन तापमान की एकरूपता बनी रहती है। इससे वेफर का आकार स्थिर रहता है… रीवर्क की आवश्यकता कम हो जाती है… एवं उत्पादन दर भी बढ़ जाती है।
किन बातों पर ध्यान देना आवश्यक है?
NIR ऊर्जा केवल दृष्टि-रेखा में ही कार्य करती है… इसलिए टेप की मोटाई एवं वेफर पर इसकी चिपकने की क्षमता समान होनी आवश्यक है… वरना कुछ जगहों पर अतिरिक्त गर्मी पैदा हो जाएगी। नियंत्रित हवा-प्रवाह एवं शील्डिंग की व्यवस्था आवश्यक है… ताकि अनावश्यक प्रतिबिंब न हों।
हम टेप चयन एवं उसके उपयोग संबंधी जानकारी भी प्रदान करते हैं… मैं सलाह देता हूँ कि पूर्ण स्थानांतरण से पहले उस क्षेत्र में तापमान की जाँच जरूर करें।