שליטה בטמפרטורה במפעלי שבבים
אם אתם עובדים במפעלי שבבים, אתם מכירים את האיום שבנקודת זיהום אחת שעלולה להרוס את כל הוואפר. זה בדיוק המקום בו נכנסים לתמונה נורות החימום ברמת טוהר גבוהה במיוחד (UHP). אך בואו נהיה כנים: השיטה הישנה של “להגדיר את הכל ולשכוח” כבר לא עובדת.
יש צורך שמערכות החימום שלכם יתקשרו עם ה-PLC שלכם ויבצעו התאמות בזמן אמת.
הקסם של קרינת האינפרא-אדום UHP
אנו משתמשים בגופי פלט אינפרא-אדום בעלי גלים קצרים, מכיוון שהם מאוד מהירים. במקום לבזבז זמן על חימום האוויר סביב הוואפר, האנרגיה נשלחת ישירות לחומר שעליו נמצא הוואפר.
על ידי שינוי המתח ומשך הפעולה של הנורה, ניתן להגיע לטמפרטורה הרצויה בתוך שניות. זה מהיר מאוד – וזה חשוב, מכיוון שזה מאפשר לשמור על רמת חום נמוכה, דבר שמונע מהחומרים השונים להתפשט במקומות לא רצויים.
הפיכת המערכת ל“חכמה“
מפעלי שבבים מודרניים תלויים לחלוטין בנתונים. אנו מחברים את נורות החימום למערכות של משוב סגור, כך שאין צורך לנחש.
מדי חום שולחים נתוני טמפרטורה בזמן אמת לבקר, שאחר כך משנה את רמת ההספק של הנורה. זה מונע את הבעיות שנוצרות עם נורות חימום רגילות.
בנוסף, יש לכם רשומה דיגיטלית של כל מחזור חימום. זה מאוד שימושי לצורך תחזוקה – ניתן לראות מתי הנורה מתחילה להישחק, ולהחליף אותה לפני שהיא נשרפת ופוגעת בתהליך הייצור.
האתגרים
הבעיה היא שמערכות אינפרא-אדום בעלות צפיפות גבוהה צורכות הרבה אנרגיה. כאשר מעבדים וואפרים בגודל 300 ממ, גוף הנורה נהיה חם מאוד.
יש צורך לוודא שמערכות הקירור עובדות כראוי. אם זרם האוויר יורד גם במעט, גוף הנורה יתחמם יותר מדי, והפילמנטים שלה יישרפו מוקדם מדי.
ועוד דבר – החיווי. כאשר עוברים לרשת דיגיטלית, הגנה מפני הפרעות אלקטרומגנטיות היא חיונית. המרת אנרגיה בתדרים גבוהים יכולה ליצור הרבה “רעש אלקטרוני“ שמפריע לחיישנים. יש להשתמש בכבלים מוגנים ובחיבורים טובים, כדי שהאותות יהיו נקיים. אחרת, אתם רק מנסים לתפוס רוחות בנתונים שלכם.