במפעלי הייצור, שינויי הטמפרטורה במהלך ייבוש הוואפרים או חימום הפוטורזיסט אינם רק בעיה זמנית בגרפי ה-SPC. זו בעיה שגורמת לירידה בתשואה – פשוט וברור. פתרון החימום בטמפרטורות גבוהות שלנו מבוסס על חימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום באורך גל קצר, שמאפשר חימום יציב ומהיר של החומר, מבלי לגעת בו.
מה חשוב באמת?
אנרגיית האינפרא-אדום חודרת במהירות אל תוך הוואפר והסרט, כך שניתן להגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות, ולשמור עליה. רמת האחידות של הטמפרטורה היא ±0.1°C, מה שמאפשר שליטה טובה בממדים החשובים של הוואפר לאחר החשיפה. המערכת מסוגלת להתמודד הן עם חימום רגוע והן עם חימום אינטנסיבי, תוך שליטה קפדנית בטמפרטורה. כך, שינויי הטמפרטורה של הפוטורזיסט פוחתים.
המערכת מתאימה לחדרים נקיים מסוג Class 1–100, בזכות שימוש בחומרים עם רמת חלקיקים נמוכה, ועיצוב שמונע פליטת גזים. החיממים פועלים יום אחר יום בטמפרטורות גבוהות, והביצועים שלהם נשארים יציבים, גם לאחר אלפי פעולות.
למה זה מתאים לתהליך הייצור?
יש צורך בייבוש לאחר שלבי הניקוי, ובחימום לאחר שלב הציפוי, כדי שהתהליך יהיה חוזר על עצמו בכל פעם. אנרגיית האינפרא-אדום מאפשרת חימום בהתאם לצורך, כך שזמן החימום קוצר וצריכת האנרגיה יורדת, מבלי לפגוע ברמת האחידות. זה אומר שניתן לשלוט טוב יותר בממדים של הוואפר, יש פחות צורך בעבודות תיקון, וניתן לסמוך על קצב הייצור.
החיבור בין הסרט לוואפר נשאר יציב לאורך מספר פעולות, כך שהמגע התרמי נשאר אחיד מלוטה ללוטה.
על מה צריך לשים לב?
קרינת האינפרא-אדום דורשת קשר ישיר בין מקור החימום לוואפר; אין לאפשר פערים ביניהם. הסרט חייב להיות בעל עובי ואחיזה אחידים על פני הוואפר; אחרת ייווצרו אזורים חמים. יש לתכנן זרימת אוויר מבוקרת והגנה מפני החזרי אור, כדי למנוע בעיות.
אנו מספקים הנחיות לבחירת הסרט ולחיבורו, ואני ממליץ לבצע בדיקות קצרות כדי לוודא את רמת הטמפרטורה באזור הרלוונטי, לפני שמעבירים את הוואפר לשלב הבא.