در فرآیند تولید تراشههای درایور نمایشگر، ویفرهای مربوط به درایورهای نمایشگر، هیچ انحراف حرارتی را تحمل نمیکنند. حتی کوچکترین انحراف در دما، یعنی ۰.۵ درجه سانتیگراد، باعث میشود ضخامت فوتورزیست تغییر کند؛ در نتیجه، دقت فرآیند تولید کاهش مییابد.
در مرحله خشک کردن، رطوبتی که کاملاً از ویفرها خارج نشده، باعث ایجاد مشکلاتی میشود؛ این مشکلات تا چند هفته بعد مشخص نمیشوند. ما گرمکنهای مادون قرمز خود را برای حل این مشکلات ساختیم؛ یعنی با بودجه حرارتی محدود، بدون هیچ انحرافی، و با دقت بالا.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟ ما از گرمکنهای مادون قرمز با پرتوهای کوتاه و امیترهای کوارتزی با پاسخ سریع استفاده میکنیم. در ویفرهای ۲۰۰ میلیمتری و ۳۰۰ میلیمتری، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود. دقت دما در هر بار پخت نیز در محدوده ±۰.۲ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین، فرآیندهای پخت و خشک کردن و همچنین فرآیند تثبیت فوتورزیست، بدون هیچ انحرافی انجام میشوند.
این گرمکنها در اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ قرار میگیرند؛ در این اتاقها، هیچ ذرهای تولید نمیشود، که این موضوع از طریق نظارت بر ذرات در حین فرآیند تأیید میشود. میزان انرژی مصرفی نیز بر اساس دستورالعملهای مشخص تنظیم میشود؛ همچنین، الگوهای دمایی نیز در عرض ۱۰ میلیثانیه تکرار میشوند. این امر از لایههای نازک در برابر تنشهای حرارتی محافظت میکند.
چرا این روش در فرآیند تولید تراشههای درایور نمایشگر مؤثر است؟ لایههای تشکیلدهنده تراشههای نمایشگر بسیار حساس هستند؛ بنابراین، کنترل حرارتی باید دقیق باشد. با استفاده از گرمکنهای مادون قرمز، عملکرد فوتورزیست تثبیت میشود؛ در نتیجه، تعداد اشکالات کاهش مییابد و فرآیند تولید دقیقتر میشود.
خشک کردن ویفرها نیز به صورت یکنواخت انجام میشود؛ این امر باعث کاهش تراکم نقصها و تثبیت کیفیت لیتوگرافی میشود. در نتیجه، کنترل ابعاد کلیدی تراشهها دقیقتر میشود، تعداد اشکالات کمتر میشود، و فرآیند تولید نیز پیشبینیپذیرتر میشود.
چیزهایی که باید قبل از استفاده از آن بدانید: این گرمکنها میتوانند در سیستمهای موجود قرار بگیرند، اما تنظیمات آنها باید دقیق باشد. فاصله بین امیتر و ویفر باید در محدوده ±۰.۵ میلیمتر باشد تا یکنواختی دما حفظ شود.
برای تنظیمات مناسب، باید جرم حرارتی حامل و امیتانس سطح پشتی ویفر را مطابقت داد. باید یک آزمایش کوتاه انجام داد تا نرخهای تغییر دما و زمانهای لازم برای پخت مشخص شوند. پس از تنظیم، این گرمکنها میتوانند ۲۴/۷ بدون نیاز به تعمیرات، کار کنند؛ همچنین، لامپهای این گرمکنها میتوانند بیش از ۵۰۰۰ ساعت با خروجی پایدار کار کنند.