در سالن تولید، یک انحراف دما در حین پردازش حرارتی سریع کافی است تا ابعاد بحرانی لیتوگرافی را تغییر دهد و تعداد زیادی ویفر را به زباله بفرستد. شما به حرارتی نیاز دارید که به طور آنی اثر کند، پایدار بماند و چرخه به چرخه تکرار شود. ما سیستمهای لامپ RTP را میسازیم که این کنترل را بدون شکستن بودجه تولیدی ارائه میدهند.
آنچه از نظر فنی مهم است
ما پلتفرم RTP شما را با گزینههای لامپ هالوژن با موج کوتاه یا لامپهای با موج متوسط تطبیق میدهیم که برای نرخهای افزایش سریع و کنترل پایدار در حالت پایدار تنظیم شدهاند. پوشش کوارتز و هندسه بازتابنده به گونهای انتخاب شدهاند که پروفایل حرارتی را در سرتاسر ویفر شکل دهند. شما میتوانید بر یکنواختی در سطح ویفر با دقت ±0.1°C و تکرارپذیری پخت فوتورزیست که در محدوده حرارتی تنگ باقی میماند، حساب کنید.
این سیستم با کلاسهای تمیزی از کلاس 1 تا کلاس 100 سازگار است، با تولید ذرات کم و بدون گاز خارجشونده که فیلمها را آلوده کند. تأمین انرژی با ابزار مطابقت دارد، با گزینههای کانکتور و ولتاژ که به مشخصات OEM همراستا هستند، بنابراین تعویضها قابل پیشبینی و راهاندازی سریع است.
چرا در جایی که شما آن را اجرا میکنید کار میکند
در مسیرهای لیتوگرافی و سلولهای RTP، شما مراحل پخت نرم، پخت سخت و آنیل را اجرا میکنید که در آن دقت دما به طور مستقیم روی همپوشانی، عرض خط و عملکرد نقص تأثیر میگذارد. لامپهای ما پنجره پخت را تثبیت میکنند، از کار دوباره جلوگیری میکنند و زمانهای چرخه را تنگ نگه میدارند. مصرف انرژی با خروجی کارآمد لامپ و جفتسازی حرارتی تنگ بهینهسازی میشود که هزینه هر ویفر را کاهش میدهد.
قابلیت اطمینان برای کار 24/7 ساخته شده است، با دادههای میدانی که نشاندهنده هزاران ساعت در خروجی پایدار و توقفهای غیرمنتظره کمتر است. تغییرات کمتر لامپ به معنی زمان کمتر توقف و موجودی کمتر قطعات یدکی است.
جزئیات عملی در اینجا
نصب نیاز به همراستایی دقیق نوری و handling تمیز لامپ و بازتابنده دارد تا یکنواختی در جایی که باید حفظ شود. تطبیق منحنی لامپ با طراحی خاص اتاق RTP غیرقابل مذاکره است؛ عدم تطابق به عنوان انحراف در امضای فرآیند نمایان خواهد شد.
ما نقشهبرداری سازگاری و پشتیبانی از راهاندازی را ارائه میدهیم، اما شما هنوز باید هندسه اتاق، رابط قدرت و محدودیتهای خنکسازی را قبل از تعویض تأیید کنید. لامپ را مانند یک مصرفی کالیبره شده در نظر بگیرید: ساعات، خروجی و اختلاف دما را پیگیری کنید و طبق برنامه جایگزین کنید تا بازده را حفظ کنید.