Das geheime Werkzeug für das Trocknen von Halbleitern: Unsere Infrarot-Halogenlampen
Wir haben unsere Halogen-Infrarotlampen aus einem einzigen Grund entwickelt: um den Aushärte- und Trocknungsprozess bei Halbleitern schneller, sauberer und zuverlässiger zu gestalten. Das Prinzip ist es, die Wärme genau dorthin zu bringen, wo sie benötigt wird – schnell – ohne dass dabei Verunreinigungen entstehen.
Die Infrarotenergie trifft direkt auf das Ziel, ohne vorher durch die Luft zu gelangen. Es muss nicht gewartet werden, bis sich der Raum aufgeheizt hat. Es entsteht somit reine, fokussierte Wärme. Dadurch wird weniger Energie verbraucht und die Arbeitsumgebung bleibt sauberer.
Leistung, Spannung, Größe – entwickelt für die Praxis
Halbleiterbearbeitungssysteme sind oft sehr kompakt. Deshalb wurden diese Lampen so konzipiert, dass sie eine hohe Leistung aus einem kleinen Platzbedarf heraus liefern können. Unser Standardmodell ist eine Lampe mit 400 V und 2500 W in einem 300-mm-Durchmesser-Gehäuse. Diese Größe passt perfekt in现有的 Geräte – es ist kein Umdesign nötig. Die hohe Spannung sorgt dafür, dass bei gleicher Leistung weniger Strom fließt. Dadurch werden kleinere Leiter benötigt und es entstehen weniger Verluste bei der Übertragung der Energie.
Der 10-mm-Durchmesser des Gehäuses sorgt dafür, dass die Wärme genau dorthin geleitet wird, wo sie benötigt wird – auf kleine Bauteile und dünne Schichten. Da die Lampen schnell auf maximale Leistung kommen, verkürzen sich die Bearbeitungszeiten.
Doch mit einer solchen Leistungsdichte braucht man natürlich eine geeignete Kühlung sowie eine stabile Spannungsversorgung. Wenn die Leitungen oder Kontakte nicht groß genug sind, kommt es zu Spannungsabfällen und ungleichmäßiger Aushärtung. Planen Sie daher entsprechend.
Konstruktion: Quarz, Beschichtung und eine zuverlässige R7s-Basis
Wir verwenden hochreinen Quarz für das Gehäuse. Er kann schnelle Temperaturänderungen aushalten und sorgt dafür, dass die Infrarotstrahlung über die Zeit konstant bleibt. Die Halogenlampe schützt außerdem den Glühfaden, sodass die Leistung über die gesamte Lebensdauer der Lampe konstant bleibt.
Außerdem wird auf dem Quarz eine spezielle reflektierende Beschichtung aufgetragen. Dadurch wird mehr Energie direkt auf das Werkstück geleitet, während weniger Energie nach hinten geht.
Die R7s-Basis ist ein Design mit zwei Kontakten, das für hohe Temperaturen und hohe Leistungen geeignet ist. Dadurch ist der Austausch der Lampen einfach möglich, und es entsteht eine stabile, wiederholbare Verbindung – auch in Geräten, die viel Vibrationen ausgesetzt sind.
Saubere, schnelle Aushärtung – entwickelt für Halbleiterproduktionen
In der Produktion sorgt das Infrarot-Trocknen dafür, dass die Prozesse reibungslos ablaufen. Es werden keine Lösungsmittel verwendet, und es kommt zu weniger Ausdünstungen. Dadurch entstehen gleichmäßige Aushärtungseffekte auf den Wafern und Substraten – mit wiederholbarer Temperaturregelung.
Da die Wärme direkt auf das Ziel gerichtet wird, wird die Umgebungsluft nicht erhitzt. Dadurch sinkt der Energieverbrauch.
Wir entwickeln diese Lampen als Ersatzkomponenten für Standardheizmodule. Dadurch entfallen Umbauten, die Umstellung erfolgt schneller und es gibt weniger Stillstandzeiten während der Wartung.
Für Ingenieure bedeutet das: stabile Aushärtungseffekte, reduzierter Energieverbrauch sowie ein saubererer Produktionsprozess, der den heutigen Umweltanforderungen entspricht.