Im Prozess der Herstellung von Halbleitern ist das thermische Gleichgewicht unerlässlich. Einige Grad Abweichung während des Trocknens der Wafern, beim Erhitzen des Photoresists oder bei der Aushärtung der Verpackung können dazu führen, dass kritische Abmessungen verändert werden, Reste zurückbleiben oder die Verbindungen geschwächt werden. Deshalb haben wir den keramischen Endkappen-IR-Emitter entwickelt – damit wird diese Unbestimmtheit beseitigt, indem die Wärme genau dort stabilisiert wird, wo sie benötigt wird – nämlich direkt am Ort der Bestrahlung.
Was bei Belastung wirklich wichtig ist, ist die Wiederholgenauigkeit. Die keramische Endkappe sorgt für eine stabile Aufhängung des Emitters sowie für eine reproduzierbare Montage. Dadurch bleibt die IR-Quelle immer in der richtigen Position und ist thermisch fest verankert. Der Emittent reagiert schnell und zuverlässig, wodurch eine gute Temperaturhomogenität in der Zielzone erreicht wird. Dadurch können konstante Bedingungen für das Erhitzen des Photoresists gewährleistet werden, und die Entfernung von Lösungsmitteln während des Trocknens der Wafern kann kontrolliert werden.
Bei der Aushärtung der Verpackung sorgt dieselbe Stabilität dafür, dass eine vorhersehbare Vernetzung stattfindet – ohne dass es zu Überlastungen der Verbindungen kommt. Es wird auch eine einhaltbare Steuerung der Parameter, eine geringe Partikelbildung sowie Kompatibilität mit Reinräumen der Klassen 1–100 gewährleistet.
Dies funktioniert, weil der Emittent zum Rhythmus der Halbleiterherstellung passt. In den Lithografieanlagen hält der Emittent die Temperatur beim Erhitzen des Photoresists präzise unter Kontrolle, sodass die Abmessungen der Strukturen erhalten bleiben. Bei der Reinigung und Trocknung sorgt er für eine schnelle, gleichmäßige Wärmeverteilung, ohne dass Defekte entstehen.
Für die Verpackung liefert der Emittent eine stabile Aushärtungskurve, die für Klebstoffe und Kapselmaterialien notwendig ist. Dadurch werden Nacharbeiten und Ausschuss reduziert. Das Ergebnis sind weniger Parameterabweichungen, konstante Zykluszeiten sowie eine zuverlässige Produktqualität.
Ein praktischer Hinweis: Keramische Emittenten sind empfindlich gegenüber mechanischen Erschütterungen. Die Ausrichtung zum Substrat muss daher genau sein. Planen Sie den Einsatzort so, dass eine wiederholbare Positionierung möglich ist. Geben Sie dem Emittenten außerdem eine kurze Zeit zur Erreichung des Gleichgewichtszustands vor dem eigentlichen Prozessschritt. Passen Sie außerdem den Emittenten an Ihre Spannungs- und Betriebszyklusbedingungen an – sonst bleibt die Leistung über 5.000 Stunden hinweg nicht konstant.