Přestaňte ztrácet čas čekáním, než se wafer ohřeje.
Pokud stále spoléháte na cirkulaci horkého vzduchu při zpracování polovodičů, v podstatě platíte „daň za čas“.
Přemýšlejte o tom, jak funguje ventilační systém. Je potřeba nejprve ohřát celou komoru, poté plyn – a teprve potom čekat, než se teplo dostane do waferu. Je to pomalé a únavné.
Vakuové infračervené vyhřívání eliminuje tento problém. Místo čekání na vzduch posílá infračervené záření přímo do substrátu. Je to rychlé – opravdu rychlé.
Jelikož ve vakuu není žádný vzduch, který by překážel, používáme lampy s krátkovlnným nebo střednovlnným infračerveným zářením. Zatímco systém s horkým vzduchem se stále snaží stabilizovat, infračervený systém dosáhne požadované teploty během sekund.
To změní vše v souvislosti s vaší kapacitou výroby. Navíc neplýtváte kilowatty energie na ohřev stěn komory. Energie jde přímo tam, kam je potřeba.
Ale pozor – není to tak jednoduché, jako jen vyměnit nějakou součástku. Musíte se vypořádat s „efektem stínu“. Pokud je obalu lampy v cestě, některé hrany součástky nebudou dostávat potřebné teplo. Obvykle to řešíme pomocí více lamp nebo pomocí zlatem pokrytých štítů, které energii odrážejí zpět na cílovou oblast.
A ještě jedna rada: tyto vysokovýkoné lampy se na koncích velmi zahřívají. Pokud nedbáte na chladicí systémy, vaše konektory se spálí. To je rychlý způsob, jak ukončit životnost lampy.
V konečném důsledku jde o přechod od pomalého batchového zpracování k kontinuálnímu procesu. Vyměňujete jednoduchý ventilátor za něco mnohem přesnějšího. Pokud chcete zvýšit svou výrobní kapacitu, je jediným řešením zkrácení doby zpracování.