Na výrobní lince stačí jediný teplotní výkyv během rychlého tepelného zpracování, aby došlo k posunu kritických rozměrů litografie a k vyšrotování velkého množství waferů. Potřebujete teplo, které zasáhne okamžitě, udrží stabilní hodnotu a opakuje cyklus za cyklem. Vyvíjíme RTP lampové systémy, které poskytují tuto kontrolu, aniž by narušily rozpočet fabu.
Co je technicky důležité
Přizpůsobujeme vaši RTP platformu možnostem krátkovlnných halogenových nebo středněvlnných lamp, nastavených na rychlé rampové rychlosti a stabilní řízení stavu. Křemenný obal a geometrie reflektoru jsou vybrány tak, aby tvarovaly tepelný profil přes wafer. Můžete se spolehnout na uniformitu na úrovni waferu v rozmezí ±0,1 °C a opakovatelnost pečení fotoresistu v rámci úzkého tepelného rozpočtu.
Systém je kompatibilní s čistými prostory od třídy 1 do třídy 100, s nízkou tvorbou částic a bez uvolňování plynů, které by kontaminovaly filmy. Napájení je přizpůsobeno nástroji, s konektory a napěťovými možnostmi v souladu s OEM specifikacemi, takže výměny jsou předvídatelné a uvedení do provozu rychlé.
Proč funguje tam, kde jej provozujete
V litografických trasách a RTP buňkách probíhají procesy soft bake, hard bake a anneal, kde přesnost teploty přímo ovlivňuje přesnost přiřazení vrstev, šířku linií a vznik defektů. Naše lampy stabilizují pečicí okno, snižují potřebu přepracování a udržují cykly krátké. Spotřeba energie je optimalizována efektivním výkonem lampy a těsným tepelným spojením, což snižuje náklady na wafer.
Spolehlivost je navržena pro nepřetržitý 24/7 provoz, s provozními daty prokazujícími tisíce hodin stabilního výkonu a méně neplánovaných odstávek. Menší počet výměn lamp znamená méně prostojů a nižší skladové zásoby náhradních dílů.
Praktické detaily
Instalace vyžaduje přesné optické zarovnání a čisté zacházení s lampou a reflektorem, aby byla zachována potřebná uniformita. Přizpůsobení křivky lampy konkrétnímu designu RTP komory je nezbytné; nesoulad se projeví jako posun v procesním signálu.
Poskytujeme kompatibilitní mapování a podporu při nastavení, ale před výměnou musíte potvrdit geometrii komory, rozhraní napájení a chlazení. Zacházejte s lampou jako s kalibrovaným spotřebním materiálem: sledujte odpracované hodiny, výkon a teplotní odchylky a vyměňujte ji dle plánu na ochranu výtěžnosti.