ফ্যাবের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা
যদি আপনি সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবে কাজ করেন, তাহলে আপনি জানেনই যে অল্প পরিমাণ দূষণও একটি ওয়েফারকে নষ্ট করে দিতে পারে। এখানেই উল্ট্রা হাই পিউরিটি (UHP) হিটার ল্যাম্পগুলো কাজে আসে। কিন্তু সত্যি বলতে, “সেট করে ভুলে যাওয়া” এই পুরানো পদ্ধতিটি আর কাজে আসে না।
আপনার হিটিং সিস্টেমগুলোকে আপনার PLC-এর সাথে সংযুক্ত রাখা দরকার; যাতে সেগুলো সময় অনুযায়ী পরিবর্তন করতে পারে।
UHP ইনফ্রারেডের জাদু
আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহার করি; কারণ এগুলো অত্যন্ত দ্রুত কাজ করে। ওয়েফারের চারপাশের বাতাসকে উত্তপ্ত করার পরিবর্তে, শক্তি সরাসরি ওয়েফারে পৌঁছায়। ভোল্টেজ ও ডিউটি সাইকেল পরিবর্তন করে আপনি কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই কাঙ্ক্ষিত তাপমাত্রায় পৌঁছাতে পারেন। এটা খুবই দ্রুত। এটা গুরুত্বপূর্ণ; কারণ এর ফলে থার্মাল বাজেট কম থাকে, যার ফলে অনাবশ্যক পদার্থগুলো অন্য জায়গায় ছড়িয়ে যায় না।
“স্মার্ট” করা
আধুনিক ফ্যাবগুলো ডেটার উপর নির্ভর করে চলে। আমরা এই ল্যাম্পগুলোকে ক্লোজড-লুপ ফিডব্যাক সিস্টেমের সাথে সংযুক্ত করি; যাতে আপনাকে অনুমান করতে না হয়। পাইরোমিটারগুলো রিয়েল-টাইমে তাপমাত্রার তথ্য কন্ট্রোলারে পাঠায়; ফলে কন্ট্রোলারটি শক্তি বাড়ায় বা কমায়। এর ফলে পুরানো ধরনের রেজিস্টিভ হিটারগুলোর সমস্যাগুলো দূর হয়।
এছাড়াও, প্রতিটি থার্মাল সাইকেলের ডিজিটাল রেকর্ড থাকে। এটা রক্ষণাবেক্ষণের জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। আপনি দেখতে পাবেন যে ল্যাম্পটি কখন ক্ষয়প্রাপ্ত হচ্ছে; ফলে উৎপাদন বন্ধ হওয়ার আগেই আপনি সেটি পরিবর্তন করতে পারেন।
কঠিন অংশগুলো
কিন্তু এখানেই সমস্যা রয়েছে। উচ্চ-ঘনত্বযুক্ত ইনফ্রারেড সিস্টেমগুলো অনেক বেশি শক্তি ব্যবহার করে। ৩০০ মিমি ওয়েফারগুলো প্রক্রিয়াজাত করার সময় ল্যাম্পটি খুবই গরম হয়ে যায়। আপনাকে কুলিং সিস্টেমগুলোকে সঠিকভাবে সাজাতে হবে। যদি বায়ুপ্রবাহ কিছুটা কমে যায়, তাহলে ল্যাম্পটি অকালেই নষ্ট হয়ে যাবে।
আরেকটি বিষয় হলো ওয়্যারিং। ডিজিটাল গ্রিডে কাজ করার সময় EMI শিল্ডিং অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। পাওয়ার সাপ্লাইতে উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সির সুইচিং অনেক ইলেকট্রনিক “নয়েজ” তৈরি করে; যা আপনার সেন্সরগুলোকে ব্যাহত করে। তাই শিল্ডেড কেবলিং ও সঠিক গ্রাউন্ডিং ব্যবহার করতে হবে; যাতে আপনার সিগন্যালগুলো পরিষ্কার থাকে। নইলে আপনি শুধুমাত্র অপ্রয়োজনীয় সমস্যার মুখোমুখি হবেন।