ফ্যাব ফ্লোরে, ওয়েহার শুকানো বা ফটোরেসিস্ট বেক করার সময় তাপমাত্রার পরিবর্তন কেবলমাত্র SPC চার্টে একটি ছোট্ট ত্রুটি হিসেবে দেখা যায় না। এর ফলে উৎপাদন ক্ষমতা কমে যায়। আমরা উচ্চ-তাপমাত্রার থার্মাল টেপ সমাধানটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (NIR) হিটিং পদ্ধতির উপর ভিত্তি করে তৈরি করেছি; কারণ এটি ওয়েহারকে স্পর্শ না করেই স্থিতিশীল ও দ্রুত তাপ সরবরাহ করে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
NIR শক্তি দ্রুত ওয়েহার ও টেপের মধ্য দিয়ে প্রবেশ করে; ফলে নির্ধারিত তাপমাত্রা দ্রুত অর্জিত হয়। ওয়েহারের সর্বত্র তাপমাত্রার পার্থক্য হয় ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; ফলে এক্সপোজারের পরও ওয়েহারের আকার স্থিতিশীল থাকে। এই সিস্টেমটি সফট বেক ও হার্ড বেক উভয় ক্ষেত্রেই কাজ করে; ফলে ফটোরেসিস্টের তাপমাত্রার পরিবর্তন কমে যায়।
ক্লাস 1–100 এর জন্য উপযুক্ত:
এটি ক্লাস 1–100 এর জন্য উপযুক্ত; কারণ এতে কম কণাসমূহ রয়েছে এবং ডিজাইনটি গ্যাস নির্গমন কমানোর জন্য তৈরি করা হয়েছে। হিটারগুলো দিনের পর দিন উচ্চ তাপমাত্রায় কাজ করে; ফলে হাজার হাজার বার কাজ করার পরও এর কার্যক্ষমতা অক্ষুণ্ণ থাকে।
কেন এটি প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত?
প্রতিবারই ক্লিনিং প্রক্রিয়ার পর ওয়েহার শুকানো এবং স্পিন-কোটিংয়ের পর বেক করা প্রয়োজন। NIR পদ্ধতিতে চাহিদামতো তাপ সরবরাহ হয়; ফলে সময় কমে যায় এবং শক্তি ব্যবহারও কমে যায়। এর ফলে CD নিয়ন্ত্রণ ভালো থাকে, রিওয়ার্কিং কমে যায় এবং উৎপাদন ক্ষমতা বৃদ্ধি পায়।
কী বিষয়গুলো লক্ষ্য করা উচিত?
NIR পদ্ধতিতে দৃষ্টিলাইন খুব গুরুত্বপূর্ণ; তাই টেপটির ঘনত্ব ও আঠালোতা সমান থাকতে হবে। অন্যথায় কিছু জায়গায় তাপমাত্রা বেশি হয়ে যাবে। নিয়ন্ত্রিত বায়ুপ্রবাহ ও সুরক্ষা ব্যবস্থা ব্যবহার করে অপ্রয়োজনীয় প্রতিফলনগুলো এড়ানো উচিত।
টেপ নির্বাচন ও ক্ল্যাম্পিং সংক্রান্ত তথ্য:
আমরা টেপ নির্বাচন ও ক্ল্যাম্পিং সংক্রান্ত তথ্য প্রদান করি। পূর্ণ ট্রান্সফার করার আগে অঞ্চলটির তাপমাত্রা পরীক্ষা করা উচিত।