ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেজিস্ট বেকে 0.5°C ড্রিফট একটি পুরো ব্যাচ স্ক্র্যাপ করার জন্য যথেষ্ট। আপনি Evatec ইভাপোরেটর চালাচ্ছেন, এবং থার্মাল বাজেট নির্দিষ্টভাবে নির্ধারিত। হিটিং ল্যাম্প হল সেই জায়গা যেখানে প্রক্রিয়ার উদ্দেশ্য প্রকৃত wafer-এ প্রভাব ফেলে। যদি এটি সামান্যতম বিচ্যুত হয়, তাহলে লিথোগ্রাফি ওভারলে ক্ষতিগ্রস্ত হয় এবং এজ এক্সক্লুশন শুরু হয়।
যা প্রকৃতপক্ষে গুরুত্বপূর্ণ
Evatec ইভাপোরেটরের হিটিং ল্যাম্পগুলো আপনার দরকারি থিন-ফিল্ম ডিপোজিশন এবং রেজিস্ট থার্মাল প্রোফাইলের ভিত্তিতে নির্মিত। হ্যালোজেন বা NIR ইমিটার পরিষ্কার, রেডিয়েন্ট তাপ নির্গত করে সংকীর্ণ স্পেকট্রাল নিয়ন্ত্রণের সঙ্গে, যার ফলে আপনি পান সাব-সেকেন্ড থার্মাল রেসপন্স এবং স্থিতিশীল steady-state তাপমাত্রা। পুরো wafer জুড়ে আপনি থার্মাল ইউনিফর্মিটি ±0.1°C এর মধ্যে ধরে রাখেন, এবং এই মান সরাসরি পুনরাবৃত্তিযোগ্য ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন এবং রেজিস্ট প্রোফাইলে প্রতিফলিত হয়। কোয়ার্টজ এনভেলপ এবং ইঞ্জিনিয়ার্ড ফিক্সচার Class 1–100 ক্লিনরুমের জন্য রেট করা হয়েছে—শূন্য পার্টিকেল উৎপাদন এবং কম আউটগ্যাসিং। আপনি 24/7 নির্ভরযোগ্যতা, দীর্ঘ ল্যাম্প লাইফ, এবং স্থিতিশীল আউটপুটের ওপর নির্ভর করতে পারেন; আমাদের ইউনিটগুলো 5,000+ ঘন্টা চলেছে ৫% এর কম ড্রপ নিয়ে।
কেন এটি প্রক্রিয়ার সঙ্গে মানায়
Evatec ইভাপোরেশনে, ল্যাম্প হল সাবস্ট্রেট তাপমাত্রার নিয়ন্ত্রণ সফট বেক এবং হার্ড বেকের সময়। ঐ নির্দিষ্টতা পেলে, আপনি ফটোরেজিস্ট রিওয়ার্ক কমান, অ্যাডহিশন উন্নত করেন, এবং লাইন-উইডথ কন্ট্রোল কঠোর করেন। এর ফলে ধারাবাহিক থ্রুপুট, কম স্ক্র্যাপ, এবং রক্ষণাবেক্ষণের জন্য নির্ধারিত সময়সীমা সহজে পরিকল্পনা করা যায়। শক্তি ব্যবহার নিয়ন্ত্রণে থাকে কারণ সেটপয়েন্টে পৌঁছানোর র্যাম্প দ্রুত, এবং থার্মাল ইনর্শিয়া কম, তাই রেসিপি পরিবর্তন দ্রুত স্থিতিশীল হয় ও ওভারশুট হয় না।
যা নজরে রাখতে হবে
ল্যাম্পটি সঠিক Evatec ইভাপোরেটর মডেল এবং নির্দিষ্ট বেক মডিউলের সঙ্গে মেলাতে হবে। কানেক্টর, ভোল্টেজ, এবং কুলিং পাথের সঠিক সঙ্গতি দ্বিগুণভাবে যাচাই করুন; মিসম্যাচ হলে হট স্পট তৈরি হবে এবং ল্যাম্প দ্রুত নষ্ট হবে। পিরোমিটার পাথের নির্ভুলতা বজায় রাখতে নিয়মিত ক্যালিব্রেশন অন্তর্ভুক্ত করুন। দীর্ঘায়ু কম হবে যদি আপনি স্থায়ী সর্বোচ্চ পাওয়ারে চালান, তাই সর্বনিম্ন সেটপয়েন্টে থাকুন যা প্রক্রিয়া স্পেসিফিকেশন পূরণ করে।