
في عملية التصنيع، لا يمكن تجاهل الجانب المتعلق بالحرارة. فقد يؤدي اختلاف درجات الحرارة أثناء تجفيف الرقائق أو تسخين المواد اللازمة للطباعة الضوئية إلى تغيير الأبعاد الحرجة للرقائق، أو ترك بقايا، أو إضعاف نقاط الربط بين أجزاء الرقاقة. لذلك، قمنا بتصميم جهاز الإشعاع بالأشعة تحت الحمراء من النوع الخزفي للتغلب على هذه المشاكل، من خلال استقرار درجة الحرارة في المكان المناسب، أي في نقطة التعرض للضوء.
ما يهم حقًا في هذه العملية هو القدرة على التكرار. فالغطاء الخزفي يوفر دعمًا كهربائيًا مستقرًا، ويسمح بتركيب الرقائق بشكل متكرر، بحيث يظل مصدر الأشعة تحت الحمراء في مكانه ومستقرًا من الناحية الحرارية. كما أن هذا الجهاز يستجيب بسرعة وبشكل دقيق، مع توزيع متساوٍ لدرجة الحرارة في المنطقة المستهدفة. وهذا بدوره يساعد في الحفاظ على استقرار درجة حرارة المواد المستخدمة في الطباعة الضوئية، وكذلك في التحكم في عملية إزالة المواد الكيميائية أثناء تجفيف الرقائق.
في عملية التعبئة، يوفر هذا الجهاز استقرارًا يسمح بحدوث روابط كيميائية متوقعة، دون حدوث أي ضغوط على الروابط بين أجزاء الرقاقة. كما أنه يوفر تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة، ويقلل من تكون الجسيمات الصغيرة، بالإضافة إلى التوافق مع بيئات الغرف النظيفة من الفئة 1 إلى 100.
يعمل هذا الجهاز بشكل جيد لأنه يتناسب مع إيقاع عمليات التصنيع للرقائق الإلكترونية. في أجهزة الطباعة الضوئية، يحافظ هذا الجهاز على درجة حرارة مثالية لتسخين المواد المستخدمة في الطباعة، مما يساعد في الحفاظ على الأبعاد الحرجة للرقائق. أما في عمليات التنظيف والتجفيف، فيوفر هذا الجهاز حرارة سريعة ومتساوية، مما يسرع عملية التجفيف دون إحداث عيوب في الرقائق.
أما في عملية التعبئة، فيوفر هذا الجهاز منحنى تعتيق مستقرًا، وهو ما يساعد في تقليل الحاجة إلى إعادة العمل أو التخلص من الرقائق التالفة. والنتيجة هي تقليل التغيرات في الخصائص الفنية للرقائق، واستقرار في أوقات التصنيع، بالإضافة إلى زيادة كفاءة الإنتاج.
ملاحظة مهمة: الأجهزة الخزفية حساسة للصدمات الميكانيكية، ويجب أن يكون التوجيه الخاص بها دقيقًا للغاية. يجب تصميم الجهاز بحيث يسمح بتحديد موقعه بشكل متكرر، ويجب أن يتم تعريضه لدرجة حرارة معينة قبل بدء عملية التصنيع، حتى يصل إلى حالة التوازن. كما يجب مطابقة الجهاز مع مستوى الجهد ودورة العمل المطلوبة، وإلا فلن يكون بالإمكان الحفاظ على استقرار الإخراج لأكثر من 5,000 ساعة.